Occasion NIKON NSR 2205 EX12B #9252483 à vendre en France
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ID: 9252483
Taille de la plaquette: 8"
Steppers, 8"
Reticle, 6"
Wafer type: Notch
Resolution: 0.28 um.
NIKON NSR 2205 EX12B est un pas de plaquette de haute précision conçu pour améliorer la qualité du traitement des dispositifs semi-conducteurs. Il est conçu avec une large gamme d'optiques et une précision d'alignement à l'échelle nanométrique pour accueillir des plaquettes jusqu'à 12 pouces de taille. Ce pas de plaquette est capable de supporter une variété de réticules, y compris interchangeables, plein champ et maîtres outils de lithographie de champ. NIKON NSR-2205EX12B est équipé d'un étage réticulaire avancé qui permet un mouvement ultra-précis du réticule dans les axes x et y pour un alignement et un enregistrement précis des masques de photolithographie. Il est aussi équipé avec un scanner XYG pour la mesure recouverte en temps réel, aussi bien que NIKON possèdent la capacité de SmartDoseTM de propriétaire qui tient compte du contrôle de dose automatisé. En termes de capacité d'imagerie, NSR-2205 EX12B est capable de résoudre jusqu'à 17nm de largeur de ligne pour une longueur d'onde de 248nm. Il est également équipé d'une variété d'options d'éclairage, y compris i-line, g-line, fluorure de krypton (KrF) laser, et les sources de lumière ultra-violette extrême (EUV). Ce stepper est également capable de travailler avec une variété de matériaux de résistance, y compris la photorésist, la résistance aux tons négatifs et la résistance au film sec. Le NIKON NSR 2205EX 12B offre également un débit supérieur en raison de sa configuration d'éclairage hors axe. Ce pas est capable de manipuler une large gamme d'épaisseurs de plaquettes de 0,3 mm à 1,0 mm. En outre, il soutient les dernières générations de résistances avec sa technologie innovante Heater Assist. En termes de gestion des données, NSR 2205 EX12B prend en charge NIKON proprietary CMOS400 Technology qui permet la collecte simultanée de données et le transfert d'images. Cela garantit que toutes les données critiques sont automatiquement téléchargées dans le logiciel NIKON NSX pour une analyse plus approfondie. Au total, NIKON NSR 2205 EX 12B est un pas de plaquette robuste qui offre des performances et un débit de lithographie supérieurs. Son optique de pointe et sa précision à l'échelle nanométrique aident les fabricants de dispositifs semi-conducteurs à produire des appareils avec un niveau de précision et de précision extrêmement élevé. Ses capacités complètes de gestion des données garantissent que toutes les informations pertinentes relatives à l'appareil sont stockées et suivies efficacement.
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