Occasion NIKON NSR 2205 i11D #9213593 à vendre en France

NIKON NSR 2205 i11D
Fabricant
NIKON
Modèle
NSR 2205 i11D
ID: 9213593
Taille de la plaquette: 6"
Stepper, 6" Reticle: 6".
NIKON NSR 2205 i11D est un pas de plaquette haute précision de dernière génération avec une fonction de traitement multi-champs utilisée pour la lithographie semi-conductrice de pointe. Il a une résolution maximale de 0,17 μ m et une valeur de pointe du marché de 12 000 wafers par heure (WPH) débit. Il offre la performance ultime en temps de cycle, donne des images de meilleure qualité et une plus grande flexibilité. Les caractéristiques de l'équipement comprennent la précision d'étape de 19nm, la capacité de contrôle de la taille des taches de focalisation automatique, l'éclairage hors axe, le revêtement antireflet, le contrôle de la polarisation, la couture multi-champs et un algorithme génétique puissant pour l'optimisation de l'auto-résolution. Il dispose également d'un nouvel écran tactile convivial qui permet une variété de réglages du système en ligne. Le stepper offre une large gamme d'options d'exposition, à la fois de gauche à droite et de droite à gauche, permettant l'utilisation de l'unité pour les expositions à couche unique, double couche et multicouche. Il peut également accueillir de plus grandes tailles de substrat allant jusqu'à 200mm, avec une précision de planéité supérieure à 3 μ m sur l'ensemble du substrat. La machine supporte également une large gamme de sources d'éclairage et de blindage, dont une source sur l'axe, une source hors axe et sept sources de laminage. L'outil est fait de composants de haute précision et est construit à partir d'une plate-forme sous vide et stabilisé à l'aide de haute isolation au nanogel de silice. NIKON NSR-2205I11D est très fiable et fiable pour une longue vie professionnelle. Il est également très efficace, car il maintient sa précision et WPH lorsqu'il fonctionne dans une plage de température plus large. En outre, il a également une conception de faible entretien, consommant 45 % moins de puissance que les modèles précédents et ne nécessitant un entretien régulier que tous les deux ans ou 50 000 expositions. Dans l'ensemble, NSR 2205I11D wafer stepper est une machine fiable, puissante et efficace qui est capable de produire des images lithographiques de la plus haute qualité dans l'industrie. C'est un outil idéal pour les fabricants de semi-conducteurs qui exigent un maximum de performance et de précision dans leurs processus de lithographie.
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