Occasion NIKON NSR 2205 i11D #9276272 à vendre en France
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ID: 9276272
Taille de la plaquette: 8"
Stepper, 8"
Reticle, 6"
Notch, 8"
Loader type: Type 3 robot.
NIKON NSR 2205 i11D wafer stepper est un équipement de micro-lithographie haut de gamme conçu pour répondre à la demande croissante de pièces et composants plus complexes et miniaturisés dans l'industrie de l'électronique et des semi-conducteurs. Grâce à sa technologie de pointe et à ses processus automatisés, NIKON NSR-2205I11D offre un niveau élevé de précision et d'uniformité des plaquettes. NSR 2205I11D est conçu pour fournir une exposition précise et répétable des plaquettes semi-conductrices avec des caractéristiques de pointe qui comprennent des capacités d'alignement et de superposition vidéo véritables, des systèmes d'imagerie tridimensionnels (3D), une gestion entièrement automatisée du balayage et des rétroaction, et une stabilité de l'image aérienne supérieure. Le système comprend également des étages à double tranche pour augmenter la capacité de débit, une unité de compensation unique au niveau de l'étage et une machine de contrôle numérique haute résolution pour une exposition répétée fiable. NIKON NSR-2205 I11 D combine des technologies de pointe telles que la détection de collision pour éviter l'épaisseur excessive des couches et d'autres défauts de matériaux, ainsi que la gestion de dose pour la lithographie (DML) pour déterminer l'exposition optimale pour chaque couche. La fonction complète de l'outil Data Acquisition Asset (DAS) offre une analyse avancée de l'enregistrement d'images en temps réel, y compris des fonctions de recouvrement d'alignement vertical et d'analyse de l'enregistrement. NSR 2205 I11 D comprend également une fonction hors ligne qui permet d'analyser les tendances et de comparer les processus des wafers sur plusieurs wafers, avec des données stockées localement ou à distance. NSR-2205 I11D a également incorporé des étapes avancées Mask Clamp et X/Y pour une exposition précise et répétable des motifs de masques. Cette fonctionnalité permet l'enregistrement correct du masque et un alignement correct avec la plaquette avant exposition. Il est également applicable pour l'alignement de précision à long terme sans désalignement de masque et d'autres défauts de matériau. Le modèle utilise la caractérisation de l'uniformité sur le terrain pour améliorer la précision de l'enregistrement à l'appui des processus critiques. Le NIKON NSR-2205 I 11 D comprend également un étage X/Y moteur rapide et à haute résolution pour permettre un alignement des plaquettes de haute précision. Son équipement de commande motorisé de pointe fournit jusqu'à 10nm de résolution pour l'alignement et le positionnement précis des éléments d'étage. De plus, il dispose d'un système d'inspection en une étape pour éliminer les temps d'attente coûteux pour l'inspection des caractéristiques individuelles et d'un cycle d'exposition réglable pour améliorer le débit. En résumé, NIKON NSR-2205 I11D est un pas de plaquette de pointe conçu pour fournir la plus grande précision, répétabilité et précision pour les projets nécessitant des dimensions réduites, un meilleur contrôle de la qualité et des délais d'exécution rapides. Sa technologie de pointe, ses capteurs avancés et ses processus automatisés garantissent la plus haute qualité et la plus grande fiabilité des résultats des processus. L'unité offre également des capacités supérieures d'imagerie, d'uniformité et de gestion des processus, offrant une valeur vraiment exceptionnelle pour l'argent investi.
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