Occasion NIKON NSR 2205 i12D #9263044 à vendre en France
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Vendu
ID: 9263044
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1997
i-Line stepper, 8"
Chamber type: ASAHI
Reticle size, 6"
Reticle microscope: Fixed
Maximum field size: 22 x 22
Extender library: Left to right
Reticle barcode reader
Reticle case, 6"
Reticle SMIF
Lens uniformity: 3.110%
Illumination average: 726.748 mW/cm2
Wafer chuck: Ring
Pre alignment 2: Notch, 8"
Wafer loader: Type 3
Chip leveling
Left in-line
Wafer carrier table: Left / Right
Alignment sensor: LSA / FIA
Normal rack type
SHRINC: Type 3
1997 vintage.
NIKON NSR 2205 i12D est un pas de plaquette haute performance conçu pour des procédés avancés dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il s'agit d'un appareil d'étape de balayage de pointe qui supporte des résolutions allant jusqu'à 0,25 µm ainsi qu'une capacité de balayage rapide et précise. Le pas de plaquette est conçu pour être utilisé avec les derniers outils de lithographie, tels que les lentilles d'immersion, et est configuré avec une gamme de technologies de pointe pour fournir une production fiable et de haute précision. NIKON NSR-2205I12D est alimenté par un système de lithographie à faisceau variable (VSB) de 12 faisceaux très précis. Cette unité offre une précision améliorée et un contrôle de focalisation variable, assurant stabilité et fiabilité pour des applications exigeantes. La configuration 12 faisceaux assure également une fabrication supérieure de photomasques, réduisant la contamination et assurant une fidélité constante avec les dispositifs finis. Le stepper dispose également de la technologie de détection et de correction d'alignement active la plus récente pour garantir un alignement et une précision de recouvrement de la plus haute qualité, minimisant ainsi la variation de l'appareil à l'appareil. Au cœur de NSR-2205I 12D se trouve une puissante machine de commande hautement configurable qui offre une large gamme de fonctions de lithographie, d'imagerie, de calcul et de synchronisation. Cet outil de contrôle automatise bon nombre des processus nécessaires qui sont utilisés lors de la fabrication des dispositifs, éliminant le besoin d'inspection manuelle fastidieuse et de réglage, contribuant à rationaliser les processus de production et finalement à réduire les coûts. Le Advanced Leveling Stages (ALS) a été spécialement conçu pour NSR-2205I12D, afin d'assurer un fonctionnement rapide et harmonieux de l'actif pas à pas. Cet étage porte-air à profil bas, à double rail, est extrêmement stable et réglable à une précision de 1 µm. Le modèle ALS est facile à utiliser et permet d'interconnecter de nombreux étages magnétiques pour des mouvements et des mouvements complexes. NSR 2205 I12 D dispose également de la technologie des lentilles EI, ainsi que de l'imagerie réfléchissante par caractérisation (RIC) qui élimine le besoin d'alignement et de câblage de recouvrement supplémentaires et améliore la précision par rapport aux systèmes de lentilles classiques. Le wafer stepper supporte également une large gamme de processus avancés, y compris l'écriture de masque et le contrôle de processus. Dans l'ensemble, le NIKON NSR 2205 I12 D est un équipement avancé d'étape de balayage conçu pour fournir des performances révolutionnaires et une fabrication fiable. Avec la combinaison de ses technologies de pointe et de son puissant système de contrôle, le stepper est un excellent choix pour toute fabrication de dispositifs semi-conducteurs de pointe.
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