Occasion NIKON NSR-2205EX12C #9137681 à vendre en France

NIKON NSR-2205EX12C
Fabricant
NIKON
Modèle
NSR-2205EX12C
ID: 9137681
Stepper.
NIKON NSR-2205EX12C est un pas de plaquette de pointe. Le stepper dispose d'une conception sophistiquée pilotée par algorithme, qui permet une exposition précise et répétable des plaquettes individuelles ou des panneaux de substrat. Il fournit des solutions de haut débit et d'économie pour un large éventail de besoins en photolithographie. Le cœur de NSR-2205EX12C est son équipement d'exposition de nouvelle génération, utilisant un système d'imagerie numérique DIT (DIGITAL ILLUMINATION TECHNOLOGY) de pointe qui offre une gamme d'exposition plus large que les paliers traditionnels. En outre, l'unité dispose d'une machine de piste propriétaire intégrée, qui suit la position de chaque plaque et panneau de substrat au fur et à mesure de son passage dans l'outil, ce qui contribue à la précision de l'exposition répétée et réduit considérablement les erreurs de production. L'actif intègre un modèle d'alignement de haute précision basé sur la caméra CCD qui peut garantir des niveaux de précision aussi élevés que 1,5 microns, pendant le processus d'alignement post-exposition. La caméra capture le point d'exposition de chaque plaquette ou panneau de substrat, et utilise les résultats pour compenser avec précision les désalignements qui pourraient survenir pendant le processus d'exposition. L'équipement comprend également un aligneur de plaque SCHOTT de haute précision pour une précision d'alignement avant exposition de 0,45 microns, garantissant que chaque panneau de substrat est précisément centré avant l'exposition. NIKON NSR-2205EX12C fournit également divers systèmes pour minimiser et contrôler la variation de l'épaisseur de la résistance, dont un système de compensation numérique des bords (DEC) qui peut contrôler avec précision l'exposition sur les bords, et une unité de résinisation numérique (DR) qui peut contrôler avec précision l'épaisseur de la résistance sur chaque panneau de substrat individuel. De plus, il comprend une méthode de développement vertical (FDV) très avancée, fournissant un processus de développement post-exposition plus cohérent. Enfin, NSR-2205EX12C comprend une machine optique avancée, qui peut fournir une large gamme d'options de focalisation, de grossissement et de réglage numérique de l'ouverture, avec une NA maximale de 0,85, permettant une exposition précise des plus petites caractéristiques. Globalement, NIKON NSR-2205EX12C est un pas de plaquette très avancé, fournissant une solution rentable et à haut débit pour les applications de photolithographie.
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