Occasion NIKON NSR FX-601F #9293644 à vendre en France
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ID: 9293644
Style Vintage: 1998
Stepper
Gen 2 (370 mm x 470 mm)
Gen 3 (550 mm x 650 mm) LCD panels
Resolution: ≦ 2.4 µm (Isolated pattern), ≦ 3 µm (L/S)
Projection magnification: 1: 1.25 x
Exposure field 120 mm square to 98.78 (H) × 138 (V) mm (≦ ø 169.71 mm)
Reticle size, 6"
Holds: ~(50) Reticles
Overlay: ≦ 0.5 µm (EGA, |M| + 3σ)
Throughput: (30) Shots, 65 sec (40 mJ/cm²)
1998 vintage.
NIKON NSR FX-601F est un pas de plaquette haute performance qui offre une solution exceptionnellement précise et efficace pour tous les niveaux d'applications de lithographie. Cet outil polyvalent est capable de travailler à une vitesse impressionnante de 0,9 seconde temps d'exposition et peut supporter tous les types de substrats des modèles submicroniques aux caractéristiques d'extrême précision. Il est équipé d'un équipement hautement sophistiqué d'optique de projection laser qui offre un haut niveau de focalisation et de précision inégalé, éliminant les aberrations potentielles communément associées aux marches conventionnelles. Le taux de répétabilité extrêmement rapide du NIKON NSR FX 601 F garantit que les performances optiques du système peuvent maintenir sa précision inégalée, peu importe la complexité ou la précision du motif. De plus, le stepper est conçu pour générer des expositions précises de motifs avec des résolutions aussi faibles que 20nm. Les capacités d'automatisation avancées du stepper lui permettent d'être rapidement reconfiguré pour n'importe quel photomasque afin d'obtenir le plus haut niveau de précision avec un minimum de formation et de temps de l'opérateur. NSR FX-601F offre également des fonctions d'écran tactile très avancées pour faciliter le fonctionnement de l'utilisateur. Cette unité donne à l'utilisateur la flexibilité d'accéder facilement et de modifier les fonctions de la machine telles que la précision d'exposition et l'intensité. En outre, le stepper est équipé d'une interface programmable intuitive qui lui permet de s'intégrer à divers outils de front-end, tels que les logiciels d'acquisition de données d'exposition, pour améliorer encore les performances lithographiques et la stabilité. Le NSR FX 601 F offre aux utilisateurs une valeur exceptionnelle, permettant en fin de compte le plus haut niveau de performance et de précision tout en permettant des temps de cycle rapides. Il offre une qualité et une fiabilité supérieures même dans les scénarios d'exposition les plus difficiles. La conception très sophistiquée garantit que le stepper fournit des résultats de haute précision avec la plus grande cohérence. Dans l'ensemble, cela fournit aux utilisateurs un pas de plaquette puissant et fiable capable de répondre aux besoins de toute application de lithographie de taille.
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