Occasion NIKON NSR S202 #9299398 à vendre en France

NIKON NSR S202 est un équipement de lithographie de précision conçu pour fournir un niveau élevé de précision dans la production de dispositifs semi-conducteurs. Il s'agit d'un pas à double champ qui intègre une optique supérieure et un contrôle du mouvement pour assurer la fidélité de l'image et la précision géométrique. Le système est équipé d'un miroir de balayage galvo de haute précision à large bande qui fournit des expositions de champ simultanées tout en maintenant la résolution de l'image pendant le processus d'exposition. La conception de l'éclairage hors axe de NSR S202 combine l'éclairage diffusé et le contrôle de la lumière polarisée pour obtenir une uniformité d'exposition optimale sur la taille du champ pas à pas. Une lentille de zoom télécentrique est utilisée pour maintenir un plan focal plat sur une plus grande taille de dispositif semi-conducteur, sans erreur de zoom ni aberrations. L'unité de mouvement avancée de NIKON NSR S202 offre une variété de modes de balayage, y compris 5 × 5, 4 × 4 et 3 × 3 tailles de champ, ainsi que le réglage fin des vitesses et l'accélération pour un contrôle précis. Sa machine d'alignement précis assure la précision et la répétabilité de l'alignement, et le contrôle de la hauteur et de la position de la lentille à la plaquette est réglé par un étage de raster XY de haute précision. NSR S202 comprend une gamme de fonctions de contrôle de processus pour assurer un traitement reproductible et sans défaut. Il est équipé de l'outil de surveillance photo breveté NIKON, qui offre une observation directe des motifs pendant le processus d'exposition des paliers, et les capacités de détection et de correction automatiques des défauts sont fournies par l'ensemble d'outils de contrôle des processus NIKON ZyGo Sensor. En outre, NIKON NSR S202 est équipé d'un outil de détection de marques laser à double longueur d'onde qui permet l'enregistrement et l'inspection des défauts. Son modèle avancé de gestion des débris est conçu pour minimiser la contamination des plaquettes en recueillant les débris dans un plateau facile d'accès. Dans l'ensemble, NSR S202 est un pas de plaquette à double champ avancé qui offre une combinaison de fonctions supérieures d'optique, de commande de mouvement et de contrôle de processus pour assurer le rendement le plus élevé de dispositifs à semi-conducteurs précis et sans défaut.