Occasion NIKON NSR S306C #9379645 à vendre en France
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ID: 9379645
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2003
Scanner, 8"
Main system: MCSV
Operating system: Open VMS / Windows NT / Linux
Hard Disk Drive (HDD)
Floppy Disk Drive (FDD) / CD Drive
PPD
Unit system:
Wafer stage: Air
Chuck type: Pin chuck, 8"
Reticle alignment: SRA, VRA
Wafer alignment: LSA, FIA
BMU: Normal type
KRF Laser: CYMER Laser 7401
Auto focus: Multi
Chamber type: Sendai
Model no: S37
Wafer loader:
Loader type: Type 4
Wafer type: Notch
Flat zone position: 6 o'clock
In-Line: Left
Cassette: Right
Control rack position: Left
Reticle loader:
Reticle size, 6"
Library: 20-Slots
Bar code system:
No case
Reticle
2003 vintage.
NIKON NSR S306C est un pas de plaquette haute performance utilisé pour la photolithographie dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Il utilise une optique de pointe et des systèmes de commande de mouvement de haute précision pour l'alignement précis d'une plaquette afin de modeler différents niveaux de circuit sur la surface. La plaquette de production ronde de base de 6 pouces de NIKON NSR-S306C se compose de deux têtes de capteurs indépendantes, qui permettent un débit plus élevé et une plus grande flexibilité. Le pas de plaquette est capable d'inspecter plusieurs niveaux différents, y compris les couches de résines et de sol, ainsi que l'inspection des coupes et des couches d'adhérence. De plus, l'équipement peut effectuer des grossissements de numérisation de 10x et 20x. NSR S306C dispose d'un système de focalisation automatique à grande vitesse qui utilise une lentille liquide pour un alignement rapide et précis. De plus, le stepper dispose d'un changeur d'objectif de 12 stations avec des algorithmes optimisés pour le changement automatique d'objectif et le chargement des plaquettes. Cette unité permet un balayage rapide et réduit les temps de cycle du processus de production. NSR-S306C dispose également de sources d'éclairage avancées qui permettent une exposition optimale pour les procédés avancés de balisage. Le niveau d'exposition réglable garantit une plus grande précision et une meilleure couverture dans différentes zones d'exposition. NIKON NSR S306C dispose également de systèmes avancés d'acquisition et de contrôle de données. Ceci permet une journalisation automatique des jours d'exposition et des résultats, pour optimiser le processus d'exposition. En termes de maintenance, la machine dispose d'un outil de maintenance automatisé facile à utiliser avec des modèles de test intégrés qui permet de minimiser les temps d'arrêt et d'allonger la durée de vie du pas de la plaquette. En outre, NIKON NSR-S306C est également un actif respectueux de l'environnement car sa faible consommation d'énergie contribue à réduire les émissions de CO2 et autres. Dans l'ensemble, NSR S306C est un pas de plaquette haute performance qui offre une précision et un débit élevés, réduisant les temps de cycle du modèle tout en maintenant une qualité optimale du processus. Son optique avancée, ses systèmes de contrôle de mouvement de haute précision, ses sources d'éclairage et son équipement de maintenance donnent d'excellents résultats lors des processus de fabrication des semi-conducteurs.
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