Occasion NIKON S 207 #293660439 à vendre en France
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NIKON S 207 Wafer Stepper est un stepper de wafer entièrement automatisé et haut de gamme qui combine une capacité d'alignement de haute précision avec une précision de recouvrement de wafer à wafer. C'est un équipement entièrement programmable avec une gamme de modules qui peuvent être utilisés pour les processus pas à pas, y compris PEB, LPCVD, EPI, et d'autres techniques en ligne. Le système présente un grand champ d'exposition de 10,7 nm par 10,8 nm, une ouverture numérique élevée (NA) de 0,75 et une vitesse pas à pas élevée de 300 images par seconde. Le stepper dispose de deux têtes d'exposition, chacune avec une unité optique indépendante, qui sont configurables pour différentes expositions et types de plaquettes. Les paramètres optiques peuvent être programmés pour optimiser la machine d'imagerie pour l'exposition à différentes ouvertures numériques, profondeur de champ, grossissement et taille du motif de lithographie. L'atout d'alignement de l'outil comprend l'optique d'alignement automatique, un grand champ de vision et une résolution sous-nanométrique pour un alignement précis et répétable des couches critiques. Le modèle dispose également d'un équipement intégré d'alignement de plaquettes assistées par laser pour une précision extrême. NIKON S207 Wafer Stepper dispose d'un système complet de traitement d'image pour des fonctions de photolithographie avancées telles que la couture de petits motifs, la compensation de distorsion, la séparation des couleurs et l'imagerie haute qualité. L'unité permet jusqu'à 3 expositions par seconde pour un débit élevé. Il permet un échange complet du champ d'exposition entre les têtes d'exposition, ce qui permet une forte redondance et l'utilisation de plaquettes coûteuses. S 207 Wafer Stepper dispose également d'une vaste librairie de calcul pour la configuration facile des paramètres de calcul, fournissant un contrôle maximum des motifs pour les utilisateurs. L'interface conviviale est facile à utiliser et permet la gestion de différentes couches et définitions de plaquettes. La machine est conforme à l'ETTO et répond aux exigences les plus strictes en matière de lithographie. S207 Wafer Stepper offre l'un des systèmes les plus complets pour la lithographie de précision, l'imagerie et le contrôle de la qualité des plaquettes. Son champ d'exposition important, sa vitesse rapide et sa résolution de haute qualité en font la solution idéale pour la production d'écrans 3D complexes, d'appareils médicaux, de semi-conducteurs et d'autres applications avancées.
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