Occasion ADE / KLA / TENCOR 9500 #9152997 à vendre en France

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ADE / KLA / TENCOR 9500
Vendu
ID: 9152997
Ultra gauge multi-measurement system Includes: Single cassette ASC 1000 Controller E-Station Measures 8,700 data points in 60 seconds 2-D Contour map measurements Thickness: Center point Five points or full wafer scan Shape: Bow and warp using 3-point Global flatness: SEMI GBI, TIR, FPD, FPD% 5-Points TTV Site flatness: SEMI M1 standards Site size: 8-30 mm Variable offsets Thickness-accuracy: ±0/05 µm Repeatability: 0.15 µm Absolute range: Normal ± 125 µm Global flatness: Accuracy ± 0.15 µm Repeatability: 0.05 µm Site flatness accuracy: ± 0.15µm Wafer thickness: 400 µm - 1000 µm.
ADE/KLA/TENCOR 9500 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes spécialement conçu pour les applications de fabrication de semi-conducteurs. Il enregistre les caractéristiques électriques des dispositifs et composants semi-conducteurs pour faciliter le traitement et l'évaluation. Le système est équipé d'une capacité automatisée d'inspection des défauts et peut détecter les particules qui peuvent nuire aux performances du dispositif. L'ADE 9500 utilise une grande variété d'instruments d'essai dont deux microscopes diélectriques, trois microscopes optiques, deux SEM et plusieurs ellipsomètres spectroscopiques à angle variable. Ces instruments, ainsi que les capacités d'imagerie supérieures de l'unité, permettent une inspection et des mesures rapides et précises des défauts, de la taille des caractéristiques, de l'uniformité, des paramètres de qualité, et plus encore. Il peut également être utilisé pour mesurer les épaisseurs, les propriétés du film et les rendements. La machine d'essai utilise également la technologie de reconnaissance des motifs adaptatifs (APR) pour détecter et analyser les caractéristiques qui peuvent être utilisées pour identifier les indications de maladie. Cette technologie de reconnaissance des motifs est également utilisée pour détecter et caractériser les interconnexions, la contamination par les poussières et les saletés, la non-uniformité des matériaux et la contamination des couches minces, des couches résistives et d'autres couches. KLA 9500 comprend également une variété de stockeurs automatisés de plaquettes et d'outils de placement pour augmenter le débit et la précision. Ces outils simplifient le chargement, le déchargement, le placement et l'alignement des plaquettes et sont capables de choisir et de placer des plaquettes de toute taille et de tout type. Cela facilite et accélère la mise en place de processus d'analyse de plaquettes et de tests. L'outil peut également être programmé pour exécuter des tests diagnostiques, typiquement des valeurs de résistance. Ces tests sont particulièrement utiles lors de la conception de puces où les tests défaillants peuvent aider à identifier la cause profonde de la défaillance d'un appareil. TENCOR 9500 est capable de fournir des informations détaillées, complètes et précises sur une variété de composants et d'appareils. Ces données peuvent être utilisées pour améliorer la qualité et l'efficacité de la production, ainsi que pour réduire les coûts. Il est également suffisamment polyvalent pour s'adapter à une grande variété d'applications de fabrication de semi-conducteurs. Le modèle 9500 est conçu pour fournir une inspection et une métrologie fiables, cohérentes et précises des plaquettes.
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