Occasion ADE / KLA / TENCOR 9520 UltraGage #9397228 à vendre en France

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ID: 9397228
Wafer stress measurement system configured for thin film.
ADE/KLA/TENCOR 9520 UltraGage est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour des mesures précises de dispositifs semi-conducteurs. Il utilise la technologie d'imagerie de surface sans contact optique 3D pour générer des mesures rapides, précises et répétables des caractéristiques de surface et des défauts induits par le processus. Le système propose également des algorithmes de cartographie avancée, de profil, de GageLinx et d'inspection pour gérer l'analyse et le contrôle complexes de la topographie des plaquettes. Les composants optiques de l'unité sont capables de détecter jusqu'à 100 000 points de données par seconde, ce qui permet une analyse complète de toute la topographie d'une plaquette. ADE 9520 UltraGage dispose également d'une caméra CCD haute résolution qui capture des données pour les capacités d'imagerie optique et de détection de défauts. En utilisant la caméra CCD et un réseau d'optiques de surface, la machine peut détecter des caractéristiques de surface jusqu'à 1nm de taille. En plus de la collecte de données, KLA 9520 UltraGage fournit aux utilisateurs de puissantes capacités d'analyse et de rapport de métrologie. Le logiciel fournit un ensemble complet de visualisations comprenant des cartes de hauteur et des graphiques de profil qui sont mis à jour automatiquement à mesure que de nouvelles mesures sont recueillies. Cela permet aux utilisateurs d'identifier les défauts induits par le processus en temps réel et d'ajuster les paramètres du processus pour assurer le contrôle de la qualité. Les entrées/sorties numériques et le support d'automatisation de l'outil permettent une intégration complète avec les systèmes de contrôle de processus existants, permettant un retour en temps réel sur les conditions de fabrication. Les puissantes capacités d'évitement des erreurs de l'actif détectent les problèmes potentiels dans la production de plaquettes et initient les corrections de trajectoire nécessaires. En combinaison avec le logiciel ADE AS2 Insight, 9520 UltraGage fournit un environnement de fonctionnement intuitif pour une configuration, un étalonnage et un fonctionnement faciles. L'interface conviviale permet de configurer le modèle pour une variété d'applications et fait de l'équipement un choix idéal pour les applications de recherche et de production. TENCOR 9520 UltraGage est un système de test et de métrologie de plaquettes leader sur le marché qui fournit des mesures rapides, fiables et précises de la forme et des défauts. Ses capacités optiques automatisées et de détection des défauts, associées à de puissantes fonctions d'analyse métrologique et de rapports, assurent une assurance qualité optimale et un contrôle des processus. Lorsqu'ils sont utilisés conjointement avec le logiciel AS2 Insight, les utilisateurs acquièrent une connaissance précieuse de leurs processus de production et peuvent maximiser le débit et les économies.
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