Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #198584 à vendre en France

Il semble que cet article a déjà été vendu. Consultez les produits similaires ci-dessous ou contactez-nous et notre équipe expérimentée le trouvera pour vous.

KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan
Vendu
ID: 198584
Inspection system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan equipment est un système d'essai et de métrologie de plaquettes utilisé par l'industrie des semi-conducteurs pour inspecter, analyser, mesurer et comparer les caractéristiques topographiques de divers substrats. Cette unité permet aux utilisateurs de surveiller la planéité des plaquettes et peut être utilisée pour effectuer des inspections de défauts, des tests d'uniformité diélectrique, des mesures de profondeur de gravure et des mesures de dimensions critiques. KLA 6200 Surfscan est une plate-forme de métrologie polyvalente et fiable qui est construite sur une architecture de gradiométrie programmée multi-stations (MSPG) brevetée par KLA. Cette architecture permet à la machine de mesurer et de suivre avec précision les données topographiques de surface au cours de plusieurs cycles d'essai en utilisant au moins dix outils de mesure de surface distincts. L'architecture MSPG facilite également une conception d'outil très automatisée et robuste qui offre des performances fiables à long terme. TENCOR 6200 Surfscan dispose d'un moteur d'échantillonnage visuel de quatre pouces, qui fait tourner les plaquettes à plusieurs vitesses pour s'assurer que les données de mesure de surface sont acquises à partir de toutes les surfaces des plaquettes. Il comprend également des interféromètres Doppler laser de haute précision qui mesurent la planéité avec une résolution supérieure à 0,2 nanomètre sur une zone d'échantillon de trois pieds de diamètre. La manipulation automatisée des plaquettes de l'actif permet des changements rapides échantillon-substrat avec un minimum de temps d'arrêt, réduisant le temps de test et les coûts de main-d'œuvre. De plus, un mandrin de plaquette spécialisé est utilisé pour s'assurer que l'échantillon est bien conservé pendant les essais. 6200 Surfscan est capable de mesures de topographie de surface en 2D et 3D, permettant aux utilisateurs de détecter les fluctuations du diélectrique, de la polarisation, de la capacité et de la résistivité au cours du temps et d'un test à l'autre. Ce modèle intègre également des technologies de métrologie optique avancées, telles que la fractographie et les techniques d'interférence, pour mesurer la précision des dimensions nanométriques 3D. Enfin, toutes les données acquises par PROMETRIX 6200 Surfscan peuvent être analysées sur ordinateur en utilisant le logiciel propriétaire TENCOR InSpec. Ce logiciel permet aux ingénieurs de stocker les données acquises dans une base de données centrale sécurisée, de comparer les données provenant de multiples séries et de visualiser et d'analyser les résultats dans des graphiques tridimensionnels. KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan est un équipement d'essai et de métrologie fiable et facile à utiliser qui fournit des mesures précises et répétables sur une variété de substrats. Son architecture MSPG avancée et la manipulation automatisée des échantillons minimise les temps d'arrêt et de travail, et ses interféromètres Doppler laser haute précision offrent une excellente répétabilité et précision. En outre, le système est capable de mesurer des topographies de surface 2D et 3D et son logiciel InSpec permet un stockage, une comparaison et une visualisation faciles des données acquises. KLA 6200 Surfscan est un outil idéal pour tout professionnel du semi-conducteur ou de la recherche à la recherche d'une unité de métrologie fiable et rentable.
Il n'y a pas encore de critiques