Occasion KLA / TENCOR 6220 Surfscan #197891 à vendre en France

KLA/TENCOR 6220 Surfscan est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour la fabrication de semi-conducteurs. Il est capable de mesurer de multiples types de propriétés électriques et physiques sur divers types de plaquettes, tels que le silicium, l'arséniure de gallium et les semi-conducteurs composés. Le système se compose de matériel de manutention de plaquettes qui est utilisé pour déplacer les plaquettes à travers le processus, et une unité d'imagerie optique qui est utilisé pour détecter, caractériser et mesurer les défauts sur la surface de plaquettes. La machine optique est constituée d'un outil de capture d'image qui capture l'image de la plaquette et d'un actif de métrologie qui analyse l'image. L'image est évaluée pour les artefacts et les défauts tels que les particules, les fosses et les étapes. De plus, des caractéristiques telles que les bords et la taille des caractéristiques peuvent également être mesurées. Le modèle est capable de détecter et de mesurer des caractéristiques jusqu'à 100nm sur une plaquette de 200mm, et est principalement utilisé pour le développement de processus d'appareil et la surveillance des processus. L'équipement est hautement configurable, avec des options pour la configuration du scanner et de l'analyseur, ainsi que plusieurs noyaux automatisés et des bases de données pour la reconnaissance et l'analyse des défauts. De plus, le système permet à l'utilisateur de personnaliser des algorithmes automatisés pour diverses exigences de processus. KLA 6220 Surfscan offre plusieurs avantages à l'utilisateur, notamment une précision et une résolution élevées, un fonctionnement flexible, une automatisation efficace et des mesures fiables. L'unité fonctionne en mode de fonctionnement manuel et automatisé, et peut fournir des mesures dans des formats standards tels que des étapes exponentielles doubles et des fichiers binaires. La machine dispose également de plusieurs fonctionnalités automatisées qui lui permettent de fonctionner efficacement et avec une intervention minimale de l'utilisateur, telles que l'empilement automatisé, l'identification des caractéristiques de surface, la classification automatique des défauts et l'inspection automatique des défauts. En conclusion, TENCOR 6220 Surfscan est un outil avancé de test et de métrologie de plaquettes capable de fournir des mesures précises et fiables sur une grande variété de types de plaquettes. L'actif est hautement configurable et automatisé, ce qui en fait un excellent choix pour le développement de processus et la surveillance des processus dans l'industrie des semi-conducteurs.