Occasion KLA / TENCOR AIT XP+ #78831 à vendre en France

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ID: 78831
Patterned wafer inspection system 8" and 12" Wafer Sizes CE Marked Install Type: Through-the-Wall Cassette Interface: Handler: 300DFF1P; Mfg: 12/01; Schematic: 0002461-000 (1) 12" FOUP (1) 8" Open Cassette (Asyst VersaPort MOCA 2200) Status Lamp VDB Mfg: VDB0803 208VAC, 50/60Hz, 1-Phase, 3 Wire Power Requirements: V 200-240, 3-Phase, 5-Wire, 50/60 Hz 2002 vintage.
KLA/TENCOR AIT XP + est un équipement avancé d'essai de plaquettes et de métrologie. Le système est conçu pour détecter et identifier les défauts et les impuretés dans les matériaux à couches minces sur les plaquettes semi-conductrices. KLA AIT XP + est capable de mesurer des paramètres tels que l'épaisseur, la vitesse de gravure et le rapport d'aspect. Il a également la capacité de détecter la non-uniformité, permettant aux fabricants de s'assurer que leurs plaquettes restent dans les spécifications. TENCOR AIT-XP + est une unité autonome, c'est-à-dire qu'elle peut être utilisée indépendamment ou intégrée dans les lignes de production existantes. La machine se compose de trois composants principaux : une chambre de test, une unité de métrologie et un module d'analyse de données. La chambre utilise une optique avancée, y compris un laser hélium-néon et une caméra plein spectre, pour analyser et mesurer la topologie de la plaquette. La méthode de balayage laser utilisée par KLA AIT-XP + est conçue pour mesurer avec précision les paramètres des couches minces tels que l'épaisseur, le rapport d'aspect et la vitesse de gravure. L'unité de métrologie de KLA/TENCOR AIT-XP + dispose d'un outil de métrologie automatisé. Cet actif fonctionne en scannant l'ensemble de la plaquette, puis en comparant les données obtenues avec les valeurs stockées pour assurer l'exactitude et détecter les défauts éventuels dans le matériau à couches minces. Le modèle de métrologie automatisée comprend également un examen automatique en ligne des défauts, ce qui permet aux opérateurs d'identifier et de marquer rapidement et efficacement les problèmes qui surviennent. Enfin, le module d'analyse de données fournit une vue d'ensemble de la plaquette. Cela permet aux opérateurs de détecter la non-uniformité ainsi que d'analyser la géométrie complète et le rendement de chaque plaquette. Les données peuvent être stockées, et tout problème détecté peut facilement être retracé à leur source. De cette façon, les opérateurs peuvent rapidement identifier les problèmes et y remédier rapidement. AIT-XP + est le choix idéal pour inspecter et mesurer la surface des matériaux à couches minces trouvés sur les plaquettes semi-conductrices pour les défauts, la non-uniformité et la rugosité de surface. L'équipement est conçu pour répondre aux besoins exigeants des industries de production et de recherche. Son optique sophistiquée, son système de métrologie automatisé et son module d'analyse des données réduisent le temps de traitement des plaquettes et contribuent à minimiser les risques de pertes de rendement.
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