Occasion KLA / TENCOR Flexus #9007344 à vendre en France

KLA/TENCOR Flexus est un équipement de nouvelle génération d'essais de plaquettes et de métrologie, qui combine une conception intégrée efficace avec les dernières technologies optiques et des processus automatisés avancés pour un débit et une précision maximum. Le système est conçu pour fournir des tests et des analyses complets au niveau des plaquettes des dispositifs semi-conducteurs. L'architecture avancée en boucle fermée, basée sur la vision de l'unité lui permet de mesurer et d'analyser simultanément jusqu'à 24 lames de plaquettes d'essai par heure. KLA Flexus est unique en ce qu'il utilise l'imagerie de précision et les capacités de calcul pour créer une plate-forme unique pour l'ensemble du processus de contact à sans contact et dos. Il intègre un certain nombre d'éléments puissants, tels que des caméras rapides, des outils de métrologie laser et des algorithmes de traitement d'image puissants, lui permettant de mesurer avec précision chaque couche, des défauts ponctuels et de saisir les paramètres critiques du dispositif tels que la largeur de grille du transistor, le diamètre du plot de contact, les niveaux de dopage et les mesures de performance du dispositif. Ce niveau de précision et de répétabilité permet à TENCOR Flexus de fournir des précisions indépendantes du substrat et inférieures à 1nm. La machine utilise un moteur de solutions en boucle fermée intégré par étage (CLSE) qui sert de contrôleur robotique de précision intelligent et auto-apprenant. Le CLSE ajuste automatiquement les paramètres de l'outil pour optimiser la performance et la précision des actifs. Il intègre également des analyses prédictives pour anticiper les événements liés aux processus en amont et en aval, permettant au modèle d'ajuster automatiquement et rapidement ses paramètres en réponse aux conditions changeantes. Ces fonctionnalités aident à minimiser les temps de configuration de l'équipement et à maximiser le débit. Flexus comprend également des capacités intégrées pour l'enregistrement des données, l'analyse des données et le reporting in situ, ce qui permet de générer rapidement et facilement des rapports complexes sur les performances et la fiabilité. En outre, le système est effectivement évolutif, ce qui permet aux utilisateurs d'ajouter ou d'ajuster des outils de métrologie pour tenir compte des changements dans la conception du dispositif ou les paramètres de test. Dans l'ensemble, KLA/TENCOR Flexus est une unité de test et de métrologie de plaquettes puissante et très avancée qui fournit aux utilisateurs une solution intégrée pour le test et la métrologie de plaquettes rapides et précises. Avec sa capacité de mesurer et d'analyser simultanément jusqu'à 24 lames de plaquettes de test par heure, ses capacités d'analyse prédictive et son matériel et son logiciel évolutifs, KLA Flexus est bien équipé pour servir de pierre angulaire à toute installation de test de plaquettes et de métrologie.