Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9199098 à vendre en France
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Vendu
ID: 9199098
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1995
Wafer inspection system, 8"
Cleaning & Wipe-down
With IPA
Puck height
Laser & Optical alignment
18 Mil thick wafers
System belts
Vacuum lines
Ribbon cables
DC Power supply
Laser power supply: GP / IO Program
Wafer indexers: 6" to 8"
Adjust both the left and right
Through beam voltage: 3.0 V DC
Measurement electronics:
INSW
Particle
Haze PCB's
Clean & Lube the wafer robot
Sort-cam
Left & Right lead screws
Scan mirror alignment:
OEM Specification: 20um/sec
EDS and XlY
Up to 200mm capable
Manual cassette load onto elevator
Defect sensitivity: 0.09um at 80% Capture rate
Ar ion laser wavelength: 488nm
Blower unit
R&D Activity
Operating system: Windows 3.11 / KLA 4.0
1995 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan est un équipement de test et de métrologie des plaquettes de haute précision. Il est conçu pour répondre aux défis de développement de la technologie de traitement des plaquettes à grande échelle et pour fournir des mesures fiables des caractéristiques critiques des appareils. Avant l'avènement de KLA 6200 Surfscan, il a fallu beaucoup de travail et de temps pour inspecter chaque plaquette individuelle, trouver des défauts, et comprendre leurs causes profondes. TENCOR 6200 Surfscan permet une caractérisation et des tests fiables des plaquettes, permettant aux fabricants de mieux comprendre les performances de leurs produits, d'identifier facilement les plaquettes et dispositifs défectueux et d'améliorer leur contrôle des processus. Le système offre des mesures rapides, précises et répétables dans une gamme variée de matériaux et d'applications planes ou non planétaires. Cette vitesse et cette précision aident les fabricants à minimiser le temps d'exécution pour évaluer leurs paramètres de processus. En outre, 6200 Surfscan utilise des systèmes avancés d'imagerie optique et de suivi des plaquettes pour obtenir des mesures très précises et fournir des données avec une plus grande intégrité. L'unité fournit également aux opérateurs des routines automatisées, comme le comptage des particules, la saisie des données, la métrologie et d'autres mesures, qui peuvent être utilisées pour cerner les problèmes potentiels liés à la structure de la plaquette, aux propriétés électriques des appareils ou aux contaminants à la surface de la plaquette. Il comprend également des capacités avancées de détection de défauts tels que le mode Darkfield pour trouver des particules étrangères sur la surface de la plaquette. La machine offre également des capacités d'analyse de topographie de surface inégalées en utilisant des paramètres comme un balayage de ligne, FFT, profil 3D, et amplitude à la fois dans les modes Z et X, Y axes. En outre, PROMETRIX 6200 Surfscan offre une grande sensibilité pour les mesures de topographie et de texture non planaires (3-D). Ceci est possible en utilisant des algorithmes avancés qui détectent des différences fines à un niveau micro. L'outil est également capable de balayer rapidement un large éventail de matériaux, des échantillons volumineux aux substrats epi. KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan révolutionne les tests et la métrologie des plaquettes en fournissant un moyen complet, rapide et répétable de mesurer, caractériser et classer les plaquettes. Avec ses fonctionnalités et capacités avancées, il aide les industries de traitement des plaquettes à améliorer le contrôle des processus et à devenir plus efficace et rentable.
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