Occasion KLA / TENCOR FT-750 #69314 à vendre en France

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ID: 69314
Taille de la plaquette: 8"
Film thickness mapping system 8" wafer configuration loader Stratax Cognex SECS.
KLA/TENCOR FT-750 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes, spécialement conçu pour les processus de production avant jusqu'à 200 mm, conçu pour fournir la précision et la précision requises pour les applications de gravure et de balisage exigeantes. Le système hautement automatisé peut analyser une variété de types de défauts, y compris la ligne de sous-surface, la surwidth et les défauts de ligne manquants, ainsi que mesurer la longueur de ligne, l'épaisseur du film et la résistance de surface. L'unité de test et de métrologie de wafer KLA FT-750 est construite sur le concept d'un véritable CDSEM d'imagerie qui combine une puissance de résolution supérieure, un contraste de motifs supérieur et une large gamme de contrastes qui assure une détection précise des défauts. La machine TENCOR FT 750 utilise une optique haute résolution avancée, offrant des résolutions allant jusqu'à 0,20 micron. L'outil contient une boîte à vide automatisée qui crée un vide élevé constant pour l'échange rapide d'échantillons, augmentant le débit. FT-750 comprend un outil de cartographie automatisée des plaquettes sous forme de die-to-die ainsi que des outils logiciels avancés tels que des algorithmes d'évaluation multicritères, permettant une analyse détaillée d'une grande variété de défauts et de caractéristiques de processus. KLA/TENCOR FT 750 offre également un profilage de profondeur puissant, une fonction importante permettant aux utilisateurs d'obtenir une image complète de l'échantillon, maximisant les enquêtes sur les défauts et le contrôle des processus. L'actif est conçu pour être configurable et extensible, permettant aux utilisateurs de personnaliser et de mettre à niveau le modèle pour répondre à leurs besoins. L'équipement KLA FT 750 est très fiable, grâce à des fonctionnalités telles que les algorithmes de dépoussiérage qui permettent au système de fonctionner au niveau de performance le plus élevé et de réduire la cassure des plaquettes. L'unité comprend également une table d'indexation et un contacteur élévateur automatique pour des mesures à haut débit. Une interface ouverte permet d'intégrer facilement le FT 750 dans une plateforme existante de surveillance des processus, fournissant aux opérateurs des informations détaillées sur l'état des plaquettes. En résumé, TENCOR FT-750 est une machine automatisée d'essai et de métrologie de plaquettes hautement fiable conçue pour supporter des processus de production frontale jusqu'à 200 mm. L'outil fournit une résolution jusqu'à 0.20 microns, des configurations personnalisables et extensibles, la détection des défauts et le contrôle des processus, et une interface intégrée, ce qui rend l'actif adapté à tout environnement de production.
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