Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55/TC #195934 à vendre en France

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KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55/TC
Vendu
ID: 195934
Resistivity measurement system, with autoloader Flat panel Probe head.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55/TC est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie utilisé pour analyser et mesurer des plaquettes à semi-conducteurs. Il est conçu pour examiner et inspecter les caractéristiques du niveau des semi-conducteurs, telles que les bosses, les lignes, la non-uniformité et la taille des caractéristiques. Le système est basé sur une technologie optique avancée et est capable de détecter rapidement et précisément diverses dimensions et défauts sur les plaquettes. KLA RS-55TC peut être connecté à une unité de manutention automatisée des plaquettes (AWHS) et utilisé pour inspecter et mesurer les surfaces et les caractéristiques des plaquettes. La machine est équipée d'une caméra Auto-Focus Tilt et de lentilles Dual Telecentic. La caméra basculante auto-focus permet à l'outil de capturer des images haute résolution de l'échantillon. Les objectifs doubles ont une profondeur de champ réglable et peuvent capturer des images de différents plans focaux. TENCOR RS55/TC est capable d'obtenir des données 3D et des mesures de topologie de surface de plaquettes. Il peut mesurer la hauteur, la taille et la forme des bosses, ainsi que les largeurs de lignes, les emplacements et les valeurs CD (dimension critique). L'actif peut également détecter des variations dans les largeurs de lignes et les espacements, ainsi que d'analyser les caractéristiques pour l'uniformité. Diverses techniques d'analyse sont utilisées pour mesurer les caractéristiques des plaquettes, notamment la microscopie électronique à balayage (SEM), la microscopie optique, la microscopie électronique à balayage (SEM-AFM) et l'interférométrie de la lumière blanche. Le modèle utilise une combinaison de ces techniques, y compris des algorithmes avancés, pour détecter les défauts et les variations sur les surfaces des plaquettes. TENCOR RS-55TC a la capacité de mesurer divers types de matériaux, tels que le silicium, le cuivre, l'aluminium, l'or et d'autres types de métaux. L'équipement peut également analyser les matériaux organiques, ce qui le rend adapté à un large éventail d'applications. Le système fournit un débit élevé et des vitesses d'inspection rapides. Il est également équipé d'une interface facile à utiliser qui rend l'acquisition de données et la génération de rapports simples et rapides. En résumé, TENCOR RS-55/TC est une unité d'essai et de métrologie des plaquettes de pointe conçue pour inspecter et mesurer les plaquettes semi-conductrices. La machine utilise une technologie optique de pointe et utilise des techniques d'analyse sur mesure pour détecter les défauts et les variations. Avec sa gamme de fonctionnalités, son débit rapide et son interface facile à utiliser, KLA RS-55/TC est un choix idéal pour inspecter et mesurer les surfaces des plaquettes.
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