Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55TCA #9275709 à vendre en France

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ID: 9275709
Taille de la plaquette: 8"
Resistivity mapping system, 8", parts system Wafer handler: 18 x 31 x 18 Four point probe Temperature compensation Contour mapping system 3-D Plots Diameter scans.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55TCA est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes qui fournit un ensemble complet d'outils pour mesurer des paramètres tels que l'épaisseur moyenne et locale, la topographie de surface, la rugosité de surface, la densité de défauts, et d'autres caractéristiques. Conçu pour la précision et la répétabilité, le KLA RS 55 TCA offre des performances supérieures sans compromettre la précision. TENCOR RS-55/TCA utilise une combinaison sophistiquée de techniques de métrologie optique pour mesurer les surfaces des plaquettes. Ces techniques comprennent la scatterométrie, l'ellipsométrie, la photoluminescence, la polarimétrie et la microscopie électronique secondaire. Le système utilise également des systèmes avancés de contrôle de mouvement et des algorithmes propriétaires pour fournir précisément les résultats les plus précis dans la plus petite quantité de temps. Le logiciel d'application KLA/TENCOR/PROMETRIX RS 55 TCA fournit une suite complète d'outils d'analyse conçus pour détecter automatiquement les défauts à la surface de la plaquette. Ces outils sont utilisés pour détecter et caractériser les effets subtils causés par les changements de processus, ainsi que pour catégoriser les défauts afin d'identifier les éléments potentiellement gênants et les concentrations. L'unité fournit également un rapport détaillé, qui permet aux utilisateurs d'isoler rapidement les erreurs et de réduire les déchets. La machine de contrôle de mouvement avancée utilisée dans KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55/TCA est conçue pour la précision et la répétabilité dans le balayage des plaquettes. Cet outil permet le balayage sous microns de plaquettes à des vitesses allant jusqu'à 150 mm/s. Le logiciel fournit la capacité de détecter et de mesurer les imperfections qui peuvent affecter la qualité et les performances des plaquettes de l'appareil, ainsi que la capacité de détecter facilement les changements dans les conditions de processus. KLA RS-55TCA est conçu pour répondre aux exigences les plus exigeantes en métrologie de surface des plaquettes et est optimisé pour des essais de plaquettes robustes, fiables et reproductibles. Il offre une précision inégalée dans la mesure de l'épaisseur, la topographie de surface et la rugosité de surface. L'actif peut également détecter une grande variété de défauts de plaquettes et permettre un post-traitement automatisé pour garantir l'exactitude et la précision de l'analyse. En outre, le modèle a la capacité de mesurer jusqu'à trente mille meurtrières par plaquette, et peut numériser jusqu'à vingt-cinq plaquettes par heure, assurant des temps d'exécution rapides et une meilleure productivité. RS-55 TCA est la solution idéale pour le contrôle de la qualité des semi-conducteurs et l'optimisation des processus des plaquettes.
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