Occasion KLA / TENCOR SP1-DLS #9012564 à vendre en France

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KLA / TENCOR SP1-DLS
Vendu
ID: 9012564
Particle measurement.
KLA/TENCOR SP1-DLS est un équipement complet conçu pour fournir l'inspection de masque et de plaquette la plus précise et la plus haute résolution possible. Il intègre des technologies propriétaires pour fournir l'inspection des défauts au sein d'une plate-forme unique et offre les meilleures performances dans sa classe. Le système combine SAQS (Sub-pixel Accurate Quantum Sensing) avec des optiques d'imagerie avancées pour garantir une précision inégalée dans la détection et l'analyse des défauts sur les surfaces de la plaquette et du masque. L'unité utilise des éclairages modulés spatialement, un traitement d'imagerie parallèle et des algorithmes propriétaires pour repérer sur la plaquette des défauts de taille inférieure à 10 nanomètres. KLA SP1 DLS localise ensuite avec précision les défauts avec une résolution supérieure à 1 nm, permettant une inspection complète de l'ensemble de la plaquette pour les défauts qui autrement seraient difficiles à détecter par les méthodes d'inspection traditionnelles. La machine a également la possibilité de partager rapidement des images de plaquettes/masques entre différents sites, ce qui facilite le diagnostic des problèmes et permet une réparation plus rapide. L'outil permet également aux utilisateurs de créer une base de données automatisée contenant tous les défauts découverts afin de présenter efficacement les données de défaut au fab. L'actif comprend également un logiciel d'inspection et d'analyse qui permet d'analyser rapidement tous les défauts au sein de la plate-forme unique. Le logiciel permet aux utilisateurs d'automatiser les processus d'inspection, d'analyser les caractéristiques du défaut et de prendre des décisions sur les mesures à prendre. En plus des détails précis du modèle d'inspection, TENCOR SP 1-DLS a la capacité de fournir une inspection non destructive, permettant aux utilisateurs d'effectuer des inspections répétées des plaquettes et des masques, sans endommager la surface de la plaquette ou du masque. Enfin, SP 1-DLS est également conçu pour s'intégrer avec d'autres systèmes KLA pour une expérience d'inspection et de réparation transparente.
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