Occasion KLA / TENCOR SP1-TBI #9250876 à vendre en France

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ID: 9250876
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2007
Unpatterned wafer inspection system, 8" 4-Station Open cassette type (Not SMIF) Operating system: Window NT 850 MB Includes: BROOKS Robot BROOKS Handler 2007 vintage.
KLA/TENCOR SP1-TBI est un équipement d'inspection de masque et de plaquettes qui offre une détection automatisée des défauts. Le système consiste en une tête optique qui comprend un détecteur d'image à dispositif couplé chargé (CCD), acquérant des images haute résolution et des données de diffraction à partir d'une plaquette ou d'un masque. Les données acquises sont ensuite analysées avec un logiciel spécialisé d'analyse d'image, permettant aux ingénieurs d'inspecter la plaquette pour déceler d'éventuels défauts. L'unité KLA SP1T-BI fournit aux opérateurs une interface utilisateur facile à utiliser, ce qui facilite la navigation et le fonctionnement. La machine peut être programmée pour inspecter une seule filière, plusieurs matrices ou une plaquette entière. Il dispose d'un puissant détecteur CCD pour l'imagerie haute résolution, ainsi que d'une gamme d'options d'éclairage, telles que le champ noir, le champ lumineux, l'éclairage de contour, les polariseurs et les filtres. Ces caractéristiques permettent d'analyser des caractéristiques allant de la taille nanométrique à l'échelle macro. TENCOR SP1 TBI tient compte de tous les éléments d'échantillonnage lors de ses inspections. Le logiciel automatisé de détection des défauts détermine si un défaut potentiel est une particule aléatoire ou une caractéristique spécifique générée par le processus, comme un hillock ou via. Les échantillons peuvent être archivés pour une future référence ou une analyse plus détaillée. KLA/TENCOR SP1 TBI dispose également d'un profilomètre optique intégré en option, ce qui améliore encore ses capacités. Le profilomètre permet une topographie avancée et des mesures de forme lors de l'analyse des défauts, permettant une meilleure classification des défauts. Le logiciel intégré pour TENCOR SP 1 TBI offre de nombreuses fonctionnalités de configuration et de rapport, en plus de la classification des défauts par paliers. Ces caractéristiques réduisent le temps nécessaire pour inspecter et caractériser les défauts. De plus, divers modèles de rapports intégrés permettent de rendre compte rapidement et facilement des résultats des inspections. KLA SP1 TBI propose également une suite d'outils avancés, tels que les Communications de Type Lien et Ethernet, ainsi qu'une multitude d'outils interactifs. Cela réduit encore le temps nécessaire à l'inspection et à la caractérisation des défauts. En résumé, KLA/TENCOR SP 1-TBI est un outil fiable et efficace d'inspection des masques et plaquettes. L'actif fournit aux utilisateurs un ensemble robuste de fonctionnalités, permettant l'imagerie haute résolution et la détection automatisée des défauts. Son profilomètre intégré améliore encore ses capacités, avec une topographie avancée et des mesures de forme offrant une meilleure classification des défauts. L'interface utilisateur conviviale et les nombreuses fonctions de reporting font de SP1T-BI un excellent choix pour l'inspection et la caractérisation des masques et plaquettes de haute précision.
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