Occasion KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B #9225845 à vendre en France

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes spécialement conçu pour la fabrication de semi-conducteurs. Le système fournit une gamme complète d'outils de métrologie et d'inspection pour les défis de métrologie de nouvelle génération tout en offrant un débit élevé et des frais généraux bas. L'unité dispose d'une suite impressionnante comprenant des mesures standard SEMI, superposition, CD-SEM, défaut de plaquette et essais non destructifs basse tension. KLA OPTIPROBE 2600B est livré avec un étage motorisé 5 axes pour l'inspection, des rasters asservis, et jusqu'à trois microscopes motorisés pour le traitement en ligne et hors ligne. La machine est conçue avec une architecture modulaire qui peut accueillir jusqu'à 10 µm de résolution sur des substrats de 200 mm et 300 mm, balayant une surface de 900 mm sur 1200 mm. L'outil utilise des algorithmes d'image 2D et 3D brevetés pour fournir une mesure et une analyse précises de la largeur et de l'espacement des lignes, du positionnement des bords, des problèmes de recouvrement, de la topographie, de la forme d'onde et des contours. Il fournit également des données provenant d'outils puissants de détection de défauts pour les plaquettes propres et non propres. Le logiciel d'inspection de défaut conscient du processus et conscient de l'appareil fait breveter ODCX-3D de propriétaire localise le fixé aussi bien que les défauts périphériques et fournit l'analyse rapide et les rapports. De plus, le TENCOR OPTIPROBE 2600B breveté utilise la technologie de reconnaissance de motifs PRT pour identifier et signaler les défauts sensibles au processus. La plate-forme logicielle complète Insight wafer testing and metrology fournit une gamme complète d'applications sensibles aux processus et au DFM pour inspecter tous les défauts majeurs de fabrication et d'emballage. THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B est conçu pour des mesures rapides et de haute précision. Il utilise des techniques avancées de traitement d'image pour décoder les problèmes de positionnement des bords et de superposition avec la précision du sous-nanomètre. En outre, il est en mesure d'automatiser les tests de routine pour les tâches longues ainsi que les tâches complexes, et de transférer automatiquement les données aux systèmes logiciels pour une analyse plus approfondie. L'actif OPTIPROBE offre trois fonctionnalités avancées majeures, telles qu'un poste de contrôle intégré des processus, des services Web améliorés et le mode de fonctionnement hors ligne. Il offre également un accès à distance et un contrôle sécurisé via des services web sécurisés. Le modèle est parfaitement conçu pour les processus avancés et les exigences de fabrication d'aujourd'hui.