Occasion KLA / TENCOR XP-2 #9392647 à vendre en France

ID: 9392647
Taille de la plaquette: 8"
Surface profiler, 8" Vertical range: 400 µm Maximum measuring range: 50 mm Z-Resolution: 0.1 nm Straightness: 0.1 µm / 100 mm Reproducibility: 1σ, 0.5 nm X, Y Stage movement: 150 mm x 178 mm Stylus: R0.5 µm / R2 µm, 60° Stylus tip: 2 µm Monitor, 22" Vibration isolation table Operating system: Windows XP.
KLA/TENCOR XP-2 est un équipement d'essai et de métrologie utilisé dans les chaînes de fabrication de semi-conducteurs pour l'assurance qualité et l'amélioration des rendements. Il est conçu pour des mesures rapides, complètes et non destructives de plaquettes de 300mm. Le système KLA XP-2 utilise un large éventail de techniques de balayage de surface de plaquettes, telles que des mesures optiques ou de métrologie sans contact de profil, pour générer des mesures de plaquettes fiables rapidement et avec précision. Les bras de balayage optique sont utilisés pour générer rapidement des images quantitatives de champ lumineux ou de champ sombre afin de capturer la fidélité des bords, la topographie de surface, la planéité, la planéité, les défauts de la dent de scie, les largeurs de ligne ou d'espace, les erreurs de dimension critique et d'autres facteurs liés aux paramètres de la plaquette. Les données peuvent être converties en un modèle 3D très détaillé pour une analyse plus approfondie. En plus des systèmes optiques, TENCOR XP-2 dispose de capacités de métrologie avancées telles qu'une station de canal de dimension critique et une station de largeur de ligne ou de profil de bord. Ces outils de métrologie utilisent un balayage précis pour mesurer rapidement et avec précision les dimensions critiques ou les largeurs de ligne et les profils de bord. Le modèle est également équipé de capacités avancées d'inspection des défauts, qui peuvent être utilisés pour détecter des défauts de particules, des défauts de cristaux, et d'autres incohérences de surface. L'unité de contrôle des défauts de particules est conçue pour générer des images de défauts de très haute résolution à haut débit afin de détecter et d'identifier avec précision les défauts de particules à la surface de la plaquette. En outre, XP-2 est équipé d'un ensemble complet d'outils de processus, de test et d'analyse de rendement. Il peut mesurer avec précision des paramètres critiques tels que le temps de manipulation de la plaquette, le dopage de la plaquette, l'erreur de chargement ou la perte de rendement par plaquette. Il peut également aider à identifier les coûts excessifs dus à la perte de rendement ou à tester l'inefficacité du temps. KLA/TENCOR XP-2 est une machine d'essai et de métrologie de plaquettes puissante et fiable qui fournit des solutions basées sur les données à de nombreux problèmes rencontrés par les fabricants de semi-conducteurs. Il offre un balayage de surface des plaquettes de précision pour la mesure précise des plaquettes en plus des capacités avancées d'inspection des défauts et d'analyse des processus. Ses caractéristiques avancées permettent aux fabricants de semi-conducteurs de réduire considérablement les coûts de production des plaquettes et d'augmenter le rendement.
Il n'y a pas encore de critiques