Occasion THERMA-WAVE OPTIPROBE 3260 DUV #9004644 à vendre en France

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THERMA-WAVE OPTIPROBE 3260 DUV
Vendu
ID: 9004644
Style Vintage: 1997
Film Thickness Measurement system Computer and monitor included No Cognex board No hard disk Can be inspected 1997 vintage.
THERMA-WAVE OPTIPROBE 3260 DUV est un équipement d'essai et de métrologie de type wafer sans contact haut de gamme conçu pour être utilisé dans des processus associés à la technologie avancée des circuits intégrés (IC). Il utilise une technologie unique de mesure de phase dépendant de l'angle (APM) pour mesurer, en temps réel, les propriétés physiques d'une plaquette. Il est utilisé pour mesurer avec précision les propriétés physiques, telles que les profils de hauteur de gravure, les profils de réflectivité, les empilements diélectriques, etc. Ces mesures de propriétés physiques permettent d'optimiser de nombreux paramètres importants dans les processus de fabrication de wafer IC. THERMA-WAVE OPTIPROBE 3260DUV est capable de mesurer jusqu'à 16 matériaux IC différents, dont le silicium, l'arséniure de gallium (GaAs), le germanium (Ge) et l'oxyde de tantale (Ta2O5). Il dispose d'un réseau de détecteurs Quad pour s'assurer que des mesures précises peuvent être prises sous plusieurs angles d'une plaquette. Il s'agit d'une caractéristique inestimable dans les procédés semi-conducteurs qui exigent un niveau élevé de précision et de précision. Le système optique a une gamme de longueurs d'onde de 193-1535 nm, assurant des mesures sur un large éventail de matériaux et d'applications. En plus de cette impressionnante unité optique, OPTIPROBE 3260 DUV dispose également d'une tête de balayage intégrée qui peut mesurer jusqu'à quatre points de sonde en un seul balayage. Il s'agit d'un choix idéal pour des applications impliquant plusieurs étapes de processus ou la vérification de mesures de plaquettes. Le balayage est également capable de générer un motif de balayage algorithmique optimal pour assurer des mesures précises et répétables à chaque fois. En outre, OPTIPROBE 3260DUV offre également de nombreux autres avantages, tels que la possibilité de prendre des mesures pour des plaquettes d'épaisseurs différentes, d'effectuer des processus lourds de balayage du parallélisme et de filtrer le bruit du signal. Le logiciel de contrôle intégré avancé, qui est compatible avec différents types de systèmes d'analyse et de contrôle des données, offre également un haut niveau de flexibilité et d'automatisation. Cela permet d'améliorer la précision, la répétabilité et la fiabilité des mesures. En résumé, THERMA-WAVE OPTIPROBE 3260 DUV offre une machine de test et de métrologie complète et avancée. Son réseau de détecteurs Quad, sa large gamme de longueurs d'onde et sa tête de balayage intégrée permettent des mesures très précises et fiables sur plusieurs angles et étapes de processus. En outre, le logiciel de contrôle intégré assure un processus de balayage optimisé et des niveaux d'automatisation plus élevés. Cela fait de THERMA-WAVE OPTIPROBE 3260DUV un choix idéal pour les procédés avancés de fabrication d'IC.
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