Occasion SANKYO WH80 #293608546 à vendre en France

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Fabricant
SANKYO
Modèle
WH80
ID: 293608546
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1996
Wet oxide station, 8" Oxide etch wet bench VERTEQ SRD Chuck clean bath (PVC) Touch panel (4) Chemical baths (PTFE) (4) Circulation pumps (4) Dampers (4) Heat exchangers GEM Controller F/R Bath (QUARTZ) (2) O/F Baths (QUARTZ) (4) Circulation lines (4) Valves (4) Filter housings PC Handler system: (2) Wafer transfer systems (2) Stocker robots (3) Transfer robots Transporter Transformer UPS Factory interfaces: (2) SMIF 1996 vintage.
Station humide SANKYO WH80 est une machine tout-en-un pour le traitement humide des plaquettes semi-conductrices. Il est conçu pour fournir le maximum de précision et de fiabilité pour les processus clés tels que le revêtement photorésist, le développement, la métrologie et le post-traitement. Cet équipement dispose d'une interface utilisateur intuitive, d'une large gamme d'options d'automatisation personnalisables et d'un logiciel de contrôle avancé, ce qui en fait un excellent choix pour les lignes de production de semi-conducteurs haut de gamme. La machine est équipée d'un contrôleur et d'un robot intelligent, qui déplacent le substrat d'une station à l'autre. Cette machine dispose d'un ordinateur central avec un certain nombre d'assemblages interchangeables de bras et de buses, permettant une flexibilité dans la manipulation du substrat. L'ordinateur central comprend également un poste de nettoyage des plaquettes, un poste de routage et un poste de grille, qui contrôlent et acheminent les plaquettes. Au poste d'enduction de la résine photosensible, la plaquette est automatiquement enduite de résine photosensible et de spin séché. La station de développement est capable de développer une gamme de profils de résistances, y compris des résistances minces et dures, des résistances aux bourrelets et des résistances négatives. La machine est également capable de nettoyer et de sécher la plaquette, ainsi que de fournir une station de chimie humide, une station de filtration des boues et une station de recuit. WH80 station humide dispose également d'un système complet de métrologie qui peut être utilisé pour mesurer divers paramètres de la production de plaquettes, tels que la taille des plaquettes, la résistivité, la profondeur de gravure et la rugosité de surface. L'unité fournit également des données d'analyse détaillées telles que les performances de superposition et la répétabilité des processus. La machine est connectée au logiciel de contrôle, ce qui permet aux utilisateurs de contrôler ses fonctions à distance. De plus, le logiciel peut être utilisé pour optimiser le processus de production, grâce à ses algorithmes d'optimisation intégrés. Station humide SANKYO WH80 est un outil précieux pour les fabricants de semi-conducteurs, fournissant une solution tout-en-un pour le traitement humide. C'est un outil fiable et économique qui offre des performances et une précision de premier plan. Avec son large éventail d'options automatisées, ses capacités de métrologie complètes et sa conception conviviale, WH80 station humide est un excellent choix pour des opérations de production efficaces.
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