Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Expedius #9131184 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Expedius est une station humide utilisée pour la fabrication de produits. C'est un équipement multifonctionnel qui est conçu pour permettre une fabrication et un contrôle de processus de haute précision et efficaces. Il intègre la technologie de contrôle électronique (EC) et une grande variété de sources de plasma, qui permettent tous un contrôle de processus de haute précision et efficace. La station humide TEL Expedius est utilisée pour diverses applications tout au long du processus semi-conducteur à la fois pour le traitement en première ligne (FEOL) et en aval (BEOL). Il peut s'adapter à divers processus tels que le nettoyage des plaquettes, la gravure humide, le polissage chimique-mécanique (CMP) et le dépôt électro-chimique (ECD). La technologie CE permet d'uniformiser les conditions de traitement sur une plus grande surface. Ceci est réalisé en fournissant une large gamme de paramètres de densité de courant qui peuvent être modifiés en fonction du type d'application. La plaquette peut être exposée à diverses sources de plasma qui permettent d'optimiser les taux de dépôt ou de gravure pour atteindre les performances maximales du procédé. En outre, il dispose de dispositifs de sécurité qui aident à prévenir la contamination de pièces en raison de l'exposition à des produits chimiques dangereux. Côté contrôle, le système TOKYO ELECTRON Expedius a été conçu pour faciliter l'utilisation. Son unité de fonctionnement intuitive permet aux opérateurs de régler et de contrôler rapidement et facilement les conditions de processus. Il fournit des paramètres pour contrôler la température, le courant et la tension avec une grande précision. Il dispose également d'interfaces homme-machine durables qui sont étayées par des algorithmes fiables et permettent un fonctionnement efficace. Expedius a une petite empreinte qui le rend parfait pour l'installation en salle blanche. De plus, sa conception robuste permet un fonctionnement continu même en présence de produits chimiques corrosifs. Il offre également un contrôle précis des processus pour un large éventail d'applications. Par exemple, la même machine peut être utilisée pour le dépôt ou la gravure de différents matériaux tels que l'oxyde, le poly-silicium et les métaux. Au total, TEL/TOKYO ELECTRON Expedius est une station humide performante et performante spécialement conçue pour diverses applications de processus. Sa technologie CE très précise et ses sources de plasma offrent un excellent contrôle des processus, tandis que son interface conviviale permet un fonctionnement simple et efficace. C'est une solution fiable même en présence de produits chimiques corrosifs, ce qui la rend parfaite pour l'intégration dans des environnements de salle blanche.