Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #190768 à vendre en France

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ID: 190768
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2000
Diffusion furnace, 8" Specifications: - AP-FTP oxidation current configuration (Tunnel Ox) - “Thin” oxide - Atmospheric torch - 50 production wafers load size - Boat rotation - H2 detection and digital gas monitor - 72.4 KVA transformers Gas System - House N2 2x - UHP N2 (cylinder) 1x - Argon - O2 - H2 - HCl General - Wafer type: Notch type - Signal tower: 3 color (RYG) - I/O Type - AGV compatibility: none - Rapid cooling unit: use - Load lock system: None - Production wafer qty: max 150 wafer/batch Controller and Software - HD version: WAVES V2.48 R007[S801FE-0005] - Release date: 2006/6/27 - HDD Capacity: 4.3 GB Power - Heater: 50/60Hz, 480V, 3Ph - Controller: 50/60Hz, 208V, 1Ph - Pump: none Controllers - Main system controller: WAVES, with back remote - Temperature controller: Model-560 - Pressure controller: Model-none - Mecha controller: T-BAWL - Burn controller: HEC Pyro controller - MFC controller: Model-none MFC1 Tylan Ar 30SLM MFC2 Tylan O2 10SLM MFC3 Tylan O2 30SLM MFC4 Tylan O2 10SLM MFC5 Tylan O2 3SLM MFC6 Tylan H2 10SLM MFC7 Tylan H2 3SLM MFC8 Tylan HCl 3SLM MFC9 Tylan N2 30SLM 2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S est un four de diffusion avancé conçu pour améliorer le contrôle et la précision des processus à haute température. Il dispose d'une conception et d'une construction très durables, avec une alimentation et un contrôleur avancés, permettant d'obtenir des résultats précis avec de multiples tailles et formes de substrat. TEL ALPHA-8S offre une homogénéité de température supérieure, ce qui le rend idéal pour les procédés de fabrication de semi-conducteurs, tels que le dépôt d'oxyde, ou pour le prototypage de dispositifs, y compris le MEMS/NEMS. La caractéristique clé de TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S est son équipement Dual Hot Zone, qui fournit deux éléments de chauffage qui sont réglables indépendamment pour des performances maximales et l'uniformité de température. La température de chaque zone de chauffage peut être contrôlée et contrôlée avec précision, ce qui permet des résultats précis et reproductibles. La zone chaude est enfermée dans une atmosphère inerte, fournissant un environnement thermique stable dans la chambre du four qui prévient la contamination et l'oxydation. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S dispose d'un arrêt programmable en fin de course, ce qui garantit que le système arrêtera le processus lorsque le résultat souhaité sera atteint. Il dispose également d'une unité de manutention pneumatique avancée, qui maintient solidement les substrats pendant le traitement, permettant un fonctionnement rapide et fiable. Le couvercle du four peut être enlevé pour un accès facile aux substrats, et dispose d'une protection de bord de sécurité pour éviter tout contact accidentel avec les surfaces chaudes. ALPHA-8 S est également équipé d'une machine de commande puissante, permettant un contrôle informatique en un seul point sur l'ensemble du processus. Avec le logiciel intégré Japan Modular Auto Programming, les utilisateurs peuvent facilement programmer toutes les options et les paramètres de traitement avancés. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S comprend également une station de transfert automatique de plaquettes, qui fournit des capacités de manutention et de récupération de plaquettes pour améliorer le débit et la répétabilité. Il convient à la fois aux plaquettes pleines et aux petites pièces, permettant un transfert efficace et fiable des substrats. En outre, ALPHA-8S est disponible avec une large gamme d'accessoires avancés, y compris des systèmes d'injection de gaz, collecteur de gaz, systèmes de pompage, et moniteurs de processus. Ces accessoires permettent un contrôle complet du processus et permettent un meilleur contrôle du processus de diffusion. En résumé, TEL Alpha 8S est un four de diffusion avancé conçu spécifiquement pour offrir un contrôle et des performances supérieurs. Il dispose d'une multitude de fonctionnalités et d'accessoires pour assurer un fonctionnement efficace et fiable.
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