Occasion ASM Cheetah II #293633714 à vendre en France
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L'ASM Cheetah II est un équipement avancé de collage de plaquettes conçu pour la production de dispositifs microélectroniques haute performance, haute fiabilité et MEMS. Cheetah II fournit des niveaux sans précédent de contrôle de processus et d'automatisation pour une variété de types de collage de plaquettes, y compris le collage de plaquettes à basse température, le collage par compression thermique laser, et le collage eutectique. L'ASM Cheetah II dispose d'un design robuste et fiable, permettant un traitement robuste et reproductible à haut rendement. Cheetah II comprend une chambre de liaison dédiée, permettant un contrôle précis de la température et de la pression. Le système comprend également un positionneur de haute précision, permettant un contrôle précis de l'alignement et du placement des plaquettes collées. L'ASM Cheetah II dispose également d'un distributeur de plaquettes à grande vitesse qui améliore le débit et réduit les erreurs de manipulation des plaquettes. Cheetah II peut effectuer une variété de différents processus de collage de plaquettes, y compris le collage anodique, le collage de fusion directe, et le collage eutectique. En liaison anodique, un champ électrique est appliqué sur les plaquettes pendant qu'elles sont chauffées, ce qui les amène à se lier entre elles. Le collage par fusion directe nécessite le chauffage direct des plaquettes, ce qui peut créer des gradients thermiques locaux et forcer les plaquettes à se lier sans revêtement. Le collage eutectique est réalisé en enrobant d'abord la zone de collage d'un film fin de soudure puis en faisant fondre la soudure à l'aide d'un laser. ASM Cheetah II comprend plusieurs paramètres de processus configurables et peut être utilisé pour adapter le processus aux exigences spécifiques de l'application. La machine comprend un étage multi-axes avec des capacités de rotation, de translation et d'inclinaison, assurant un alignement et un placement précis des plaquettes pour une variété de types de plaquettes. Cheetah II dispose également de contrôles optiques et thermiques avancés, permettant des mesures thermiques et optiques précises pour une répétabilité maximale du procédé. ASM Cheetah II est capable de produire des forces de liaison supérieures à 1 000 N et offre une répétabilité dans les dizaines de nano-Newtons. L'outil supporte 1,5 kW de puissance laser et est capable de coller des plaquettes d'épaisseurs allant de 200 à 1000 μ m. Cheetah II contient également une suite logicielle robuste, permettant aux utilisateurs de programmer des séquences de collage de plaquettes et de stocker des recettes de processus pour des séries de production répétées. L'ASM Cheetah II est conçu pour un faible coût, un rendement élevé et une production fiable d'appareils microélectroniques et MEMS. L'actif offre un collage reproductible haute précision des plaquettes, conduisant à un rendement et une qualité accrus dans la production de dispositifs microélectroniques et MEMS.
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