Fours de diffusion et accessoires d'occasion à vendre
Les fours et accessoires de diffusion jouent un rôle crucial dans l'industrie des semi-conducteurs, notamment dans le processus de création de couches minces sur des plaquettes de silicium. Ces fours sont conçus pour fournir un environnement contrôlé, assurant la réalisation du processus de diffusion avec précision et précision. Les fours de diffusion sont composés de plusieurs composants clés, dont une chambre de four, un système de distribution de gaz, un système de régulation de température et un carrousel de wafer. La chambre du four est l'endroit où les plaquettes sont placées et soumises à des températures élevées, typiquement entre 800 et 1200 degrés Celsius. Cette température élevée permet aux atomes dopants de diffuser dans le substrat de silicium, modifiant ses propriétés électriques. Le système de distribution de gaz est chargé d'acheminer les gaz dopants dans la chambre du four. Ces gaz sont soigneusement choisis en fonction des propriétés électriques souhaitées du produit final. Le système de régulation de température assure que le four fonctionne à la température désirée et maintient l'uniformité de température tout au long du processus. Le carrousel de la plaquette maintient les plaquettes de silicium et les fait tourner pendant le processus de diffusion. Cette rotation assure une répartition uniforme des gaz dopants sur les plaquettes, conduisant à un dopage uniforme. Outre le four de diffusion, il existe plusieurs accessoires couramment utilisés en liaison avec le four. Il s'agit notamment des bateaux à quartz, qui tiennent les plaquettes pendant le processus de diffusion, et des outils de chargement pour une manipulation sûre et efficace des plaquettes. Globalement, les fours et accessoires de diffusion sont des outils essentiels dans l'industrie des semi-conducteurs, permettant un contrôle précis et une répartition uniforme des atomes dopants sur les plaquettes de silicium. Ceci joue un rôle critique dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs performants.
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