Occasion EVG / EV GROUP 510 #293652822 à vendre en France
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Vendu
ID: 293652822
Style Vintage: 2017
Wafer bonder
Chiller
Pump and accessories
2017 vintage.
EVG/EV GROUP 510 est un liant de plaquette autonome de haute précision spécialement conçu pour les applications les plus exigeantes de collage de plaquettes à basse température et à faible force et de manutention de plaquettes minces. Les dimensions maximales des plaquettes supportées par le collant sont de 6 pouces (150 mm) de diamètre. Le groupe EVG 510 comprend des caractéristiques avancées telles qu'un axe Z contrôlé par moteur de précision, un foyer et une inclinaison commandés par moteur à vitesse variable, et un moteur pas à pas linéaire entraîné par un système de commande à deux étages qui assure la précision et la répétabilité du processus de liaison. En outre, le Groupe EV GROUP 510 a la capacité d'exécuter différentes recettes de collage avec un Modular Advanced Thin Layer Bonder (MATLB) pour assurer une répartition uniforme de la température et de la force dans la zone de collage. Le MATLB comprend un mécanisme de chauffage à couches minces intégré pour former des liaisons minces cruciales avec un contrôle précis de la température et de la force, donnant à l'utilisateur le plus haut niveau de contrôle sur le processus de collage des plaquettes. Le Groupe 510 dispose également d'un procédé programmable de pré-collage thermique qui permet un contrôle précis de la température du substrat pour éviter tout dommage thermique avant le collage. L'élément chauffant à couches minces est intégré à l'unité de contrôle des machines du groupe EVG/EV GROUP 510, qui dispose également d'une interface utilisateur graphique pour la sélection des recettes, le suivi de l'état et le contrôle du processus de collage. Le système global est conçu en tenant compte de la sécurité, et comprend une porte de sécurité transparente qui peut être ouverte et fermée à tout moment pendant le processus de collage. En outre, le Groupe EVG 510 propose une large gamme d'accessoires personnalisés, y compris un système d'échappement, un ventilateur de refroidissement intégré, des plaquettes à vide et des systèmes de montage ainsi que des cellules de manutention personnalisées pour garantir un processus de collage complet et précis des plaquettes. Avec sa grande précision, ses capacités avancées et ses options uniques de manutention des plaquettes, le Groupe EV GROUP 510 est un choix idéal pour toute application où des liaisons de plaquettes très précises et précises sont nécessaires. Sa capacité à contrôler avec précision la température et la force en fait un outil idéal pour les applications qui nécessitent un contrôle précis de la température et de la force pour assurer un rendement de production de haute qualité.
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