Occasion EVG / EV GROUP EV 560 #9239813 à vendre en France

Fabricant
EVG / EV GROUP
Modèle
EV 560
ID: 9239813
System.
EVG/EV GROUP EV 560 est un équipement de collage de plaquettes entièrement automatisé utilisé dans la production de dispositifs microélectroniques. Il fournit une solution intégrée unique pour toutes les applications de collage, telles que le pas ultra fin, le pas fin, la haute densité et la haute fiabilité. Le système offre une gamme de procédés comprenant des liaisons thermosoniques, thermodynamiques et eutectiques. L'unité comprend une machine intégrée de surveillance et de métrologie des plaquettes pour fournir une rétroaction lors des opérations de collage. EVG EV 560 est conçu avec une chambre de traitement multi-étages et jusqu'à trois manipulateurs robotiques pour le chargement et l'alignement des substrats. La chambre utilise une source de plasma haute performance pour les processus de gravure et un laser UV pour la coupe et l'ablation. En outre, l'outil contient un actif de balayage de plaquettes pour la correction précise des erreurs et le contrôle optimisé du processus de production. Il supporte une large gamme d'options de contrôle de la température pour s'assurer que toutes les opérations de collage répondent aux normes les plus élevées de qualité et de débit. Le modèle prend également en charge un environnement logiciel basé sur des graphiques, fournissant des outils pour la programmation, le développement d'applications et le contrôle statistique des processus. En outre, il offre des fonctions complètes d'enregistrement, d'analyse et de rapport des données. L'équipement est configuré pour une évolutivité facile, permettant au client d'adapter sa production aux exigences changeantes du processus et des conditions de fabrication. EVG/EV Groupes EV GROUPE EV 560 est capable de traiter des substrats jusqu'à 300mm de diamètre, ce qui le rend adapté à toutes les grandes tailles de plaquettes. Il est également compatible avec une gamme de matériaux de plaquettes tels que le silicium, l'arséniure de gallium, le phosphure d'indium et le saphir. Le système dispose d'une unité de support chauffée avancée pour l'amélioration de la précision et des rendements de collage. Il offre également une machine à épaulement chauffée en option qui se combine avec des étages motorisés en rotation pour améliorer les temps de cycle, la précision et la répétabilité. EV 560 fournit un fonctionnement fiable et répétable dans une variété d'applications de collage de plaquettes, ce qui en fait un choix idéal pour les environnements de production et de recherche. Sa conception modulaire et sa plate-forme flexible assurent la compatibilité avec les besoins de production existants et futurs, ce qui en fait une excellente solution pour les fabricants de semi-conducteurs travaillant à la pointe de la technologie.
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