Occasion EVG / EV GROUP Gemini #293651184 à vendre en France
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ID: 293651184
Taille de la plaquette: 8"
Vacuum bonder, 8"
CIM: SECS II / GEM
Solid State Drive (SSD)
Hard Disk Drive (HDD)
Control rack
Graphical user interface
DVD Backup system
Wafer ID Reader
CMO
Turbo molecular pump with control unit
Turbo pump
Objective: 10x
Resolution: 3 N Steps
Gas backfill time: <10 sec
Purge connection
High resolution digital CCD Cameras
PC Control
Oil-free roughing pump, capacity: 5.4 m³/h (50 Hz), 6.6 m³/h (60 Hz)
Ultimate chamber vacuum: 0.1 mbar
Purge gas:
Mass Flow Controller (MFC)
Gases: N2, He, Ar, N2, H2
Analog pressure gauge
Range: 0-10 bar
Resolution: 0,2 bar
High purity pressure regulator
Alignment unit:
High resolution alignment stage with DC Servomotors
Top and bottom wafer chuck with position measurement system
Joystick control
(3) Spindle alignment stages
Measurement system
Bond module:
Bond chamber with top and bottom side heaters
Process: Up to 550°C and 3.5 kN
Pressure: 3 bar
Temperature controller
Electronic pressure regulator
Rapid cooling system
Ballroom substrate handling module
Bondchuck handling module
Linear transfer station
Ergo load cassette station
Scanning endeffektor for wafer handling robot unit
Bond chuck ID Tracking
Offline recorder
Operating system: Windows.
GROUPE EVG/EV Gemini est un équipement de liaison de précision de pointe conçu pour les applications de fond et de front dans les procédés d'emballage avancés. EVG Gemini utilise un robot de manutention de plaquettes à grande vitesse et un système de distribution de gaz à retournement rapide pour permettre le collage rapide et efficace de plusieurs filières par gaufre-pack. Il est conçu pour l'industrie des semi-conducteurs avec une attention particulière à la répétabilité des procédés, au contrôle de la contamination et aux faibles coûts globaux. La principale caractéristique de conception d'EV GROUP Gemini est sa double colonne, monochromatique quartz optique. Cette configuration fournit un film de lumière extrêmement pointu avec un rapport de profondeur de champ de 10:1 sur un grand champ de travail. L'intensité lumineuse est contrôlée par une combinaison d'obturateurs UV et de modules visibles. L'optique à quartz se concentre aussi rapidement et précisément sur le haut et le bas de la plaquette ou de la filière, permettant une couverture complète et un alignement précis de la filière ou de la plaquette. Gemini comprend également une unité d'alignement unique avec un capteur automatisé unique monté sur une plate-forme mobile. Cette machine oblige l'utilisateur à introduire le motif d'alignement désiré pour chaque filière ou plaquette et l'outil ajustera automatiquement le capteur pour atteindre l'alignement optimal. Cela élimine la nécessité d'ajuster manuellement la position de la filière, ce qui entraîne des économies de temps et de coûts importantes. La tête de processus d'EVG/EV GROUP Gemini dispose également d'un atout de livraison de gaz qui permet un contrôle précis du débit et de la pression du gaz, ainsi que d'une tête optique capable d'échanger rapidement des optiques à la volée, permettant à l'utilisateur de passer rapidement entre différents processus de collage et/ou de déconnexion. EVG Gemini est particulièrement bien adapté aux procédés de conditionnement avancés car il comprend une chambre de collage sous pression pour éliminer le flux d'air et la contamination potentielle. Le modèle de contrôle de la pression réduit également le temps de processus, ce qui permet un débit plus rapide et des rendements améliorés. Dans l'ensemble, EV GROUP Gemini a été conçu pour des tests rapides, un contrôle efficace des processus et un faible coût de fonctionnement. C'est le choix idéal pour les entreprises qui cherchent à améliorer leurs processus de collage et à réduire rapidement les coûts de production.
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