Occasion LAM RESEARCH 2080 TCU #9252338 à vendre en France
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LAM RESEARCH 2080 TCU est un échangeur de chaleur refroidisseur-recirculation conçu pour assurer un transfert de chaleur fiable et efficace des liquides utilisés dans le traitement des plaquettes semi-conductrices. Il offre une capacité de dissipation de chaleur complète, ce qui en fait le choix idéal pour des applications telles que la lithographie, le dépôt, la gravure et les procédés CMP. Cette unité est dotée d'un modèle unique de condenseur/évaporateur à contre-courant à deux étages, constitué d'un échangeur de chaleur tube en coque en acier inoxydable avec un circuit frigorifique autonome. La configuration en contre-courant permet de placer l'évaporateur en amont du condenseur pour obtenir un meilleur rendement. Le haut coefficient de transfert thermique des parois réduit également les exigences de charge thermique totale, ce qui permet de réduire les températures de fonctionnement. 2080 TCU utilise également deux moteurs non ferreux pour optimiser le transfert thermique entre le refroidisseur et le fluide de traitement des plaquettes. Cette combinaison assure un contrôle précis et cohérent de la température. Les moteurs sont combinés avec deux pompes et un venturi en acier inoxydable pour générer la pression différentielle requise. Un régulateur de débit réglable est également inclus pour réguler le débit des refroidisseurs afin de répondre aux exigences spécifiques de l'application. LAM RESEARCH 2080 TCU est conçu pour être convivial, avec un panneau tactile standard de 5,7 pouces pour permettre un accès facile aux paramètres de contrôle. Ce panneau affiche également des commentaires sur le fonctionnement du système, y compris des informations sur la température, la pression et le débit. Il comprend également la communication avec d'autres systèmes de contrôle, ce qui facilite l'intégration dans tout processus existant. Cet échangeur de chaleur est conçu pour être utilisé avec des produits chimiques propres et peu contaminants, ce qui garantit que les plaquettes restent propres tout au long du traitement. Il dispose également d'une conception de faible entretien, nécessitant un nettoyage et un entretien minimaux lors de l'utilisation à un rendement maximal. Dans l'ensemble, 2080 TCU est une solution idéale pour les applications de procédés semi-conducteurs nécessitant un contrôle thermique précis et cohérent. Sa conception efficace, son interface conviviale et son fonctionnement propre en font un excellent choix pour les fabricants de plaquettes qui cherchent à améliorer leur efficacité de processus.
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