Occasion ASM A 400 #9015529 à vendre en France

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ID: 9015529
Vertical atmospheric furnace, 8", 1995 vintage.
ASM A 400 est un four de diffusion et accessoires associés produit par ASM International. Ce four est conçu pour assurer un haut degré de contrôle de la température lors des processus thermiques et une flexibilité maximale en termes d'applications de processus. Il convient à un large éventail d'applications : dépôt chimique en phase vapeur assisté à la chaleur et à l'hydrogène (HACVD), oxydation thermique, dépôt chimique en phase vapeur à basse pression (LPCVD), recuit annulaire à haute température (HTASA) et dopage à semi-conducteur. L'ASM A400 est composé d'un boîtier principal, d'un module de puissance multifonctions et d'une chambre verticale. La chambre contient huit colonnes pour la microscopie à force atomique (AFM) et les mesures de cristaux de quartz (QCM). L'unité principale est un module isolé monobloc maintenu verticalement avec un seul dessus amovible. Il comprend un contrôleur numérique monoplace et deux boucles de commutation facilement réglables pour le contrôle du gaz et le refroidissement. Le module de puissance dispose de contrôleurs de courant numérique - tension - temps et deux systèmes de refroidissement, un équipement à air forcé et un système de refroidissement de l'eau. La chambre verticale comprend un réseau d'adaptation RF (RF) optionnel et soit un câble chauffant, soit un dispositif de verrouillage à membrane. A-400 comporte également une série de mécanismes de sécurité, tels qu'une machine de décompression qui maintient un niveau de pression sûr à l'intérieur du four, et des systèmes d'arrêt et d'arrêt d'urgence qui préviennent les catastrophes en cas de dépassement des limites élevées. Le four est équipé d'un outil de refroidissement en deux étapes qui fait circuler de l'air à travers les colonnes et inverse périodiquement l'écoulement pour éviter la formation de points chauds. Ceci assure une répartition uniforme des températures dans tout le four. ASM A-400 dispose également d'une variété d'accessoires disponibles pour la personnalisation des processus ou des utilisateurs. Ces accessoires comprennent des contrôleurs annulaires d'obturation, pour contrôler la taille, la vitesse d'obturation, la température et la commande d'allumage pour HTASA ; thermocouples à éléments chauffants et thermocouples à chambre de four, pour le contrôle des températures ; et les traversées sous vide, pour le contrôle du vide. En conclusion, A400 est un four de diffusion puissant, polyvalent et fiable et les accessoires associés. Il est capable de fournir des performances précises et stables et convient à une grande variété d'applications dans l'industrie des semi-conducteurs. Il est équipé d'une gamme de mécanismes de sécurité pour maximiser la sécurité des utilisateurs et est facile à personnaliser avec les accessoires disponibles.
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