Occasion ASM A 412 #293652798 à vendre en France
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ID: 293652798
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
Vertical LPCVD furnaces, 12"
2006 vintage.
ASM A 412 est un four et un accessoire de diffusion robuste et fiable conçu pour répondre à une grande variété de besoins de production. Ce four de diffusion est parfait pour des applications monocouches ou multicouches jusqu'à trois appareils et plaquettes, et offre des capacités de montée en charge et d'homogénéisation pour une homogénéité optimale et des performances de processus. L'équipement est équipé d'un maximum de quatre zones de chauffage indépendantes et d'un puissant contrôle des ventilateurs de convection pour garantir des temps de montée en température rapides. Il est également équipé d'un système intégré de distribution de gaz qui est conçu pour fournir des flux de gaz précis pour un contrôle précis et l'uniformité du processus de diffusion. Avec des dispositifs de sécurité intégrés tels que la protection contre les températures excessives et une unité d'air chauffée au couteau, ce four de diffusion offre des procédés de dépôt diffus avancés avec des variations de vitesse de dépôt minimisées, une déformation minimale du substrat et une uniformité de procédé optimisée. La machine comprend également un contrôle du thermocouple et un ensemble de paramètres de processus incluant la pression, le vide, le cycle thermique et les paramètres basés sur le temps, permettant un haut degré de répétabilité et de contrôle du processus. L'outil fournit également un contrôleur de processus convivial et avancé, doté d'une interface graphique simple et de commandes facilement programmables pour une facilité opérationnelle maximale. Avec ces caractéristiques, ASM A412 est le choix idéal pour des procédés de diffusion de haute qualité pour les films et couches de revêtement des oxydes au cuivre ainsi qu'une grande variété d'autres applications de revêtement de précision.
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