Occasion ASM A 412 #293752528 à vendre en France

L'ASM A 412 est un four de diffusion et des accessoires conçus pour la fabrication en grand volume de dispositifs semi-conducteurs. Il utilise un mode à air forcé horizontal avancé pour le chargement ou le déchargement d'échantillons. La chambre du four est recouverte de molybdène et peut accueillir jusqu'à 8 4 "plaquettes, 4 8" plaquettes, ou 4 12 "plaquettes. La chambre dispose également d'un mode de refroidissement rapide pour capitaliser sur tout le temps de dépôt disponible. Le système de régulation de température constante impulsionnelle offre une température maximale de 1200 ° C, avec une précision ± 5 ° C Cela garantit des performances uniformes et de qualité. ASM A412 dispose d'une zone d'oxydation, capable de fournir une atmosphère d'oxygène, d'argon et d'azote. Cela permet un contrôle supérieur des espèces d'implants, des dopants et des oxydes. Le système est alimenté par un produit 30kW AC et un réseau d'alimentation pour les boîtes à gaz et les boîtes de flux. La boîte de flux contrôlait le filament de palladium chauffé, et le régulateur de débit massique aide à maintenir les températures maximales du substrat. Un four de diffusion 412 est capable de diverses ouvertures de suscepteur, réduisant le temps de chargement et de déchargement. La conception permet d'atteindre une vitesse de température rapide de 10 ° C/sec. Il convient aux procédés où un refroidissement rapide des plaquettes est nécessaire, tels que les formations de LOCOS et d'oxyde de grille. L'unité est également équipée d'un contrôleur de processus basé sur PC qui stocke jusqu'à 11 recettes de programme et jusqu'à 40 journaux de données. L'opérateur contrôle parfaitement les variables de processus, les températures, la pression, etc. Le contrôleur de processus surveille l'ensemble du processus grâce à un logiciel de four libre. L'isolation à haute température comprend l'isolation des bouteilles sous vide et des ventilateurs de refroidissement qui aident à refroidir la chambre du four rapidement avec une consommation d'énergie réduite. Ces ventilateurs de refroidissement permettent de réduire le gradient de température entre la zone froide et la zone chaude. Le bras de levage à grande vitesse permet de réduire le temps de fonctionnement et d'augmenter le débit. A412 four de diffusion est idéal pour la recherche, le développement et la production dans les laboratoires de fabrication de semi-conducteurs. Il propose un contrôle efficace de la température et de l'atmosphère, ainsi que des temps de cycle courts, ce qui en fait l'outil parfait pour produire des appareils de haute qualité.