utilisé ASM A 412 à vendre

ID#: 9076841 Fabricants: ASM Maquette: A 412 Catégorie: DIFFUSION FURNACES & ACCESSORIES Cru: 2007 Wafer Size: 12" Détails de l'équipement: Nitride/Ar poly LPCVD dual thermal vertical furnace, 12"
(2) Load ports

Side 1: Configured for pCVD TiN deposition
Side 2: Configured for As doped Poly HiK

Mainframe:
MSC3 maintenance screen
Genmark GB4S back end robot
28 FOUP carousel capacity

Does not include:
Pumps or abatement
Process chemical cabinet
Quartz/tubes

2007 vintage.
[+] Lire la suite [-] Fermer
Prix

Merci d'avoir partagé vos informations. Nous vous contacterons brièvement concernant votre équipement.

loading

Envoi de message ...

Entrez vos coordonnées et un membre de l'équipe commerciale de CAE vous contactera pour discuter de l'équipement.

* Champs requis