Occasion ASM A 412 #9114074 à vendre en France
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Vendu
ID: 9114074
Taille de la plaquette: 12"
LPCVD Vertical furnaces, 12"
Process: PH3 Doped poly/LPCVD
Software version: 6.80C
Heater type: MRL
Loader configuration, 4 or 5 loader: 4
Quartzware configuration
Outer tube: Quartz
Inner tube: Quartz
Boat: SiC boat
Boat fix ring/Cap quartz: Quartz
(6) Adiabatic plate
(1) SiH4, Type (L-type, Straight, Diffuser, Shower): Multihole, U/D/L
(1) O2, Type (L-type, Straight, Diffuser, Shower): Multihole, E
(1) PH3, Type (L-type, Straight, Diffuser, Shower): Multihole, U/D/L
Vacuum line configuration
Design: Original config
10 Torr Baratron model: MKS
10 Torr Baratron full scale setting: 10(F/S)
1000 Torr Baratron model: MKS
1000 Torr Baratron full scale setting: 1000(F/S)
ATM sensor model: MKS
Vent valve 1 (VV1) normally closed/open,plunger, diaphragm: Normally open,plunger
Check valve model: Fujikin
Check valve resistance pressure: 2.26 Kpa
Mainvalve type, Kitz or CKD: MKS
Slow valve, incorporated with mainvalve or separate(AV72,AV77): Separate (PV003)
Slow valve orifice size: 2.0mm (PV003)
Pressure range of vacuum gauge(Inficon Pirani gauge): 10T
Control table
Alarm watch/table setting
Temp (Low Alarm Limit(deg)/High Alarm Limit(deg)/Check Time(min))
U: 0.7/0.7/30S
CU: 0.7/0.7/30S
C: 0.7/0.7/30S
CL: 0.7/0.7/30S
L: 0.7/0.7/30S
Pressure (Low Alarm Limit(Torr)/High Alarm Limit(Torr)/Check Time(S)): 0.02/0.02/30S
MFC (Low Alarm Limit(%)/High Alarm Limit(%)/Check Time(S))
MFC1: N2: 2%/2%/10sec
MFC2: N2: 2%/2%/10sec
MFC3: N2: 2%/2%/10sec
MFC4: N2: 2%/2%/10sec
MFC5 SiH4: 2%/2%/10sec
MFC6: SiH4: 2%/2%/10sec
MFC7: SiH4: 2%/2%/10sec
MFC8: 1%O2/Ar: 1%/1%/10sec
MFC9: 5%PH3/N2: 2%/2%/10sec
MFC10: 5%PH3/N2: 2%/2%/10sec
MFC11: 5%PH3/N2: 2%/2%/10sec
MFC12: ClF3: 10%/10%/10sec
Transfer table
Wafer charge command (charge/discharge)
Side dummy
(5) Upper
(10) Lower
(100) Product
(5) Monitor
(105) Product & Monitor
Time
2nd Charge time(min): 0
Wafer cool time(min): 20min
Leak rate table
Base pressure low Limit(Torr): 1%
Base pressure High Limit(Torr): 1%
Leak Check check time(s): 60s
Leak limit(Torr): 1%
Retry Limit(count): 2
Loadlock settings
Loadlock configuration
O2 analyser model, NGK or Toray: PBI3.1 / PBI4.0
Process
L/A Keep value (ppm): 10ppm
N2 Flow max (L): 1300L
N2 Flow min (L): 300L
Ready
L/A Keep value (ppm): 10ppm
N2 Flow max (L): 1300L
N2 Flow min (L): 300L
Idle
L/A Keep value (ppm): 10ppm
N2 Flow max (L): 1300L
N2 Flow min (L): 300L
L/A O2 limit (ppm): 10ppm.
ASM A 412 est un four de diffusion de laboratoire à zone unique et ses accessoires, qui offre des capacités de traitement à haute température utilisées dans le processus de diffusion. Le procédé de diffusion est utilisé dans diverses industries, dont l'électronique, le verre, la métallurgie des poudres et la fabrication aérospatiale. La conception du four se compose de deux composants principaux ; le support et le foyer. Le but principal de la console est de maintenir les éléments chauffants et d'assurer l'isolation de la chambre. Le foyer détient la partie processus, ainsi qu'un certain nombre d'accessoires qui permettent une variété de possibilités de configuration. Le four est contrôlé en température par un régulateur de température réglable et un élévateur manuel. ASM A412 dispose d'une chambre de chauffage de 20 pouces de long sur 7,5 pouces de large et 7,5 pouces de profondeur. La chambre permet de maintenir des températures allant jusqu'à 2000 ° F (1093 ° C) pendant de longues périodes. Pour un transfert de chaleur efficace et un chauffage uniforme, la chambre dispose d'une seule bobine de chauffage qui s'étend sur la longueur de la chambre et est alimentée électriquement. Les éléments chauffants sont contenus dans une structure assurant une isolation efficace. Cela réduit considérablement la perte de chaleur et assure des températures plus cohérentes dans toute la chambre. Un four 412 comprend un contrôleur électronique de température, qui permet à l'utilisateur de contrôler et de régler avec précision les niveaux de température dans la chambre. Le contrôleur peut être réglé à une plage de températures de fonctionnement, et ajustera automatiquement la température à l'intérieur de la chambre pour maintenir une température de consigne. Le régulateur de température comprend également une limite de température excessive, ainsi qu'une minuterie intégrée, de sorte que le four peut être utilisé en toute sécurité et efficacement. En plus de la chambre du four principal, A412 comprend deux ports accessoires supplémentaires. Le premier orifice est utilisé pour raccorder des gaz externes et/ou des lignes de vide, tandis que le second orifice peut être utilisé pour fixer un four à tubes pour le préchauffage de matériaux. Les ports sont conçus pour la fixation de nombreux accessoires différents, permettant plus de flexibilité lors de l'utilisation du four. En termes d'utilisation, l'ASM A 412 est conçu pour un fonctionnement manuel et semi-automatisé. Grâce à son fonctionnement à un bouton, ASM A412 peut être rapidement et facilement configuré pour être utilisé, ce qui le rend idéal pour les opérations de recherche ou de production. Le four peut être installé et exploité avec un minimum d'effort, ce qui signifie que le processus de diffusion peut être achevé rapidement et efficacement. Dans l'ensemble, A 412 est un four de diffusion de laboratoire monocouche et ses accessoires, qui fournit des capacités de traitement à haute température utilisées dans le processus de diffusion. Il dispose d'une garantie à vie limitée et est idéal pour une utilisation dans les installations industrielles, de recherche et éducatives. Avec sa conception simple, son interface utilisateur intuitive et ses performances fiables, A412 est le choix idéal pour tout besoin de diffusion en laboratoire.
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