Occasion ASM A 412 #9205124 à vendre en France
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Vendu
ID: 9205124
Taille de la plaquette: 12"
Vertical LPCVD furnace, 12"
Process: NITR
General specification:
Heater element: MRL
Process condition: NIT
Maximum operating temperature: 900c
N2 Load lock
Production wafers: (100) Pieces per boat
Boat operation:
Dual boat
Dual chamber
Furnace:
Loading area light: White
Force air cooling system: Fast ramp
Side maintenance
O2 Density control: 0-100ppm
Furnace temperature controller: MTC
Wafer / Carrier handling:
Carrier type: 12" FOUP
Carrier stage capacity: 12" FOUP
Robot type: GENMARK
Gas distribution:
IGS Maker / Type: FUJIKIN
IGS MFC Maker / Type: HORIBA
IGS Press transducer maker / Type: MYKROLIS
Exhaust specification:
Vacuum gage:
10 torr: MKS
1000 torr: MKS
Main valve: MKS
Pump maker / Model: EDWARDS 1800HTX
Low vacuum valve: MKS
Trap: ASM
Vacuum pressure controller: MKS
Reactor:
Outer / Inner tube material (LP): Quartz
Inner tube yype (LP): Quartz
Inner T/C: TYPE-R LPC /Topco
Boat materail/Type: SiC
Boat rotation
Pedestal material / Type: Quartz
Auto shutter
User interface:
Operation panel: Screen
Indicator type: Touch panel
Operation system: Windows
Dry pumps not included
Power:
Voltage 3Phase: 480VAC
Voltage single-phase: 3
Frequency: 60Hz.
ASM A 412 est un four à diffusion et accessoire couramment utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour la production de plaquettes semi-conductrices. Le four est constitué d'une chambre à haute puissance, étanche au gaz et à température contrôlée qui est reliée à un certain nombre de sources de gaz, dont l'azote, l'oxygène et l'hydrogène. La chambre est également équipée d'une chemise en graphite et d'éléments chauffants qui ont une large gamme de températures qui sont contrôlées par un régulateur de température en chambre. La chambre présente également un certain nombre de caractéristiques de sécurité, telles qu'une soupape de détente et des alarmes. Les sources de gaz sont alors reliées au four par un collecteur de gaz solénoïde qui régule et contrôle l'écoulement des gaz, leur permettant d'entrer dans le four en quantités précises selon les besoins. Le gaz traverse alors un certain nombre d'éléments chauffants, où il est chauffé, puis pénètre dans la chambre principale du four. A l'intérieur de la chambre, le gaz est chauffé à une température déterminée, selon le type de procédé et la plaquette en cours de traitement. Le gaz chauffé diffuse ensuite à travers la chemise en graphite et sur la plaquette, en déposant une couche mince ou d'autres couches selon les besoins. Un certain nombre d'accessoires sont également disponibles pour ASM A412, y compris les serrures de charge, les régulateurs de température, et divers autres types d'accessoires. Les verrous de charge aident à maintenir les plaquettes dans un environnement étroitement contrôlé pendant le chargement et le déchargement, tandis que les régulateurs de température permettent un contrôle précis de la température du gaz, assurant de meilleurs résultats. Il existe également une variété d'autres accessoires disponibles, y compris des chauffages à quartz, des systèmes contrôlés par ordinateur et des équipements de traitement des plaquettes. Dans l'ensemble, A 412 est un four de diffusion avancé et un accessoire qui est largement utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour créer divers procédés et produits. Le four est équipé d'une variété de caractéristiques de sécurité et de contrôle, ainsi que d'un certain nombre d'accessoires pour un contrôle précis du processus, et est capable de produire des résultats très fiables.
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