Occasion ASM A 412 #9224750 à vendre en France
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Vendu
ID: 9224750
Taille de la plaquette: 12"
Vertical atmospheric furnace, 12"
Process: ATMOXANNL
Safety specification: SEMI S2-0703/CE
Heater model heating element: ATM FR
Process condition: AP
Process temperature: (C)
ART control: None
N2 load lock: Yes
Wafer type: 12" Si SEMI STD-Notch
Qty of production wafers: 150
Boat operation: 2 boat type
Temperature controller: MTC
UPS: None
System, factory automation
Host communications comply with GJG
Equipment host I/F connection power box top HSMS (10Base-T)
Group controller connection: None
OHT capability: Yes
AGV capability: None
RGV capability: None
PGV capability: None
PIO I/F location: FNC top
Carrier ID reader writer type: RF
CIDRW load port read
CIDRW FIMS write
CIDRW Make / Model: Asyst / ATR9100
System, user interface
Signal tower model: LOUGWB-24-4
Signal tower colors (from the Top): Red / Yellow / Green / Blue
Signal tower location: Front operation panel
Front operation panel: Yes
MMI and gas flow chart gas box & front operation panel installed
Indicator type: Superset
Pressure display unit: MPa / Pa
Exhaust pressure display unit: Pa
Warning label English
System, Furnace
Dewpoint Meter for N2 Load Lock: Yes
RCU duct length FNC - RCU NA
Ionizer:None
Acid chemical pre-filter (for acid): None
Alkali chemical pre-filter (for alkali): None
Hydrocarb chemical pre-filter (for hydrocarbon): None
Side FFU chemical filter side FFU chemical filter: None
O2 control for N2 LL O2 Density control for N2 load lock: Yes
System, wafer / carrier handling
Carrier type FOUP / 25 slots, SEMI STD
FOUP make / model: Entegris / F300-2005-17UT1502
Carrier stage capacity: 32 FOUP
Info pad A,B: None
Fork material: END EFFECTOR242*2 CERMATIC
W/T type: Gemark WHR
W/T type: A/T standard
System, power distribution
Voltage 3 phase 480 VAC
3 phase connection type, Star connection
Voltage single-phase 120 VAC
Wattmeter: None
System, gas distribution
IGS type integrated gas system
IGS make Fujikin
Tubing bends less than 90deg
IGS final filter PALL
IGS regulator Tescom
IGS MFC HORIBA STEC-Z500 series / Digital
IGS press. transducer celerity
Liquid source vapor system: None
Gas leak detector - house system
Detected Gas 1 / Location H2 / Gas cabinet
Detected Gas 2 / Location NH3 / Gas cabinet
Detected Gas 3 / Location H2 / BUBBLER cabinet
Detected Gas 4 / Location HCL / BUBBLER cabinet
Detected Gas 5 / Location NH3 / BUBBLER cabinet
Detected Gas 6 / Location HCL / Reactor cabinet
Detected Gas 7 / Location NH3 / Fast ramp
External torch unit installed
PAC: None
Tape interface heater
Quartz vendor requirement: None
Process tube (AP, AP+Sub-AP): Quartz single
Inner T/C process tube interior: Wall type (for AP Heater)
Tube sealing N2 purge + Lip seal
Boat type: 170 slots Ladder (5.3mm pitch)
Boat material: Quartz
Boat rotation: Yes
Pedestal type: Quartz
Cap heater: None
Auto shutter: No storage purge type
Earthquake countermeasure: None
Process cap
System, facilities
Exhaust connection point: Top connection
PCW connection point: Bottom connection
Incoming gas connection point: Bottom connection
Gas VENT connection point: Bottom connection
Exhaust VENT connection point: Bottom connection
Gas Unit Exh connection point: Bottom connection
Power cable input location: Power box top
Gas exhaust connection: Point top connection.
ASM A 412 est un four de diffusion et des accessoires conçus et fabriqués par ASM International, un fournisseur leader de produits, services et technologies d'ingénierie des matériaux. Ce four de diffusion est conçu pour la diffusion du silicium et comprend un équipement de traitement thermique, une chambre de remplissage et une chambre de source. Le système de traitement thermique comprend un ensemble d'éléments chauffants à oxyde d'aluminium, une unité de fluide caloporteur et une machine de contrôle automatique de la température. Ces composants sont conçus pour assurer un fonctionnement constant et fiable du four à une température déterminée. La chambre de remplissage est une chambre étanche qui abrite et transporte le matériau source nécessaire pour créer la diffusion du substrat. La chambre est reliée à une source de gaz ainsi qu'à une station de vide pour assurer un environnement sûr pour les substrats. La chambre source est le lieu de la réaction de diffusion, elle aussi reliée à un outil d'alimentation en gaz et d'évacuation. L'ASM A412 comprend également un certain nombre de dispositifs de sécurité, dont une construction à l'épreuve de l'explosion, un interrupteur de sécurité pour assurer l'arrêt en cas d'urgence, un orifice d'échappement pour évacuer les fumées nocives et un analyseur d'oxygène pour garantir des niveaux d'oxygène adéquats pour la sécurité de l'opérateur. De plus, le four dispose d'un moniteur de température de point de rosée et d'un calculateur de température pour aider l'opérateur à contrôler la température du four avec précision. Les caractéristiques, la conception et la construction du four de diffusion A 412 en font un choix idéal pour la diffusion du silicium. Ses caractéristiques de sécurité robustes et son contrôle fiable de la température en font un choix fiable et fiable pour une diffusion efficace des plaquettes de silicium. Les systèmes de vide et de gaz ainsi que la régulation de la température et les capacités d'analyse permettent d'assurer la sécurité et la précision du processus de diffusion. La haute qualité construite assure la longévité du four et son efficacité opérationnelle pendant de nombreuses années.
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