Occasion ASM A 600 UHV #195781 à vendre en France

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ASM A 600 UHV
Vendu
ID: 195781
Selective deposition LPCVD systems, 8" Process: SiH4 / Ph3 anneal, (2) chambers Software version: Windows NTVer.4.0 Service Pack 4 OS9 Ver.3.03 Vacuum pump included 1999 vintage.
ASM A 600 UHV est un four de diffusion et un ensemble accessoire conçu pour la préparation, le traitement et le dépôt de couches minces sous ultra-haute vide (UHV). Il se compose d'une chambre à vide, d'éléments de chauffage électrique, d'alimentations électriques, de dispositifs de sécurité, d'équipements numériques de contrôle de charge et d'un module de contrôle automatisé des dépôts. La chambre à vide est construite en acier inoxydable et a un design cylindrique avec un diamètre intérieur de 600 mm. Il est équipé de deux pièges froids refroidis à l'eau montés sur le haut et le bas qui aident à empêcher la vapeur d'eau d'atteindre le substrat. Les éléments chauffants électriques de l'A 600 UHV sont des tubes en verre borosilicate avec des éléments Nichrome noyés. Ces éléments Nichrome sont reliés en série à une unité d'alimentation, permettant une manipulation précise de la température à l'intérieur de la chambre à vide. Les alimentations sont noyées dans la paroi de la chambre, permettant l'isolation et le contrôle sûr des éléments chauffants. Le système de contrôle utilise des contrôleurs de charge numériques et des algorithmes PID (Proportional Integral Derivative) qui surveillent et ajustent la température avec une précision de 0,1 degré C. ASM A 600 UHV est également livré avec un certain nombre de caractéristiques de sécurité conçues pour protéger le personnel et l'équipement. Ils comprennent le contrôle de la température, l'arrêt d'urgence, le verrouillage de sécurité sous pression et le verrouillage d'alimentation. De plus, l'ensemble est conçu pour fonctionner à une pression de UHV (10 ^ -11 à 10 ^ -9 atmosphères). Ceci fournit un environnement de contamination extrêmement faible pour la préparation de surface. Le composant final de l'ensemble est un module de contrôle automatisé des dépôts. Ce module permet des cycles de dépôt multiples avec un contrôle précis du temps de dépôt et des flux gazeux. Il est équipé d'une fonction d'auto-initialisation qui aide à maintenir un contrôle exact des paramètres du processus. On obtient ainsi des résultats de dépôt répétables et cohérents. En conclusion, A 600 UHV est une machine à ultra-vide fiable et polyvalente, spécialement conçue pour les procédés de dépôt et de revêtement. Il possède un certain nombre de caractéristiques, telles que le contrôle numérique de la température et de la pression, les dispositifs de sécurité et le contrôle automatisé des dépôts, qui aident à maintenir la précision et la répétabilité. Ces caractéristiques en font un choix idéal pour les applications industrielles et de laboratoire.
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