Occasion ASM A 600 UHV #9232052 à vendre en France
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ID: 9232052
Taille de la plaquette: 8"
Vertical furnaces, 8"
Cluster tool controller
Touch screen monitor
Keyboard with trackball
User interface
Operating system: Windows NT
Hardware system:
Cluster platform module
Cluster platform pump module
CTC Computer cabinet
Process module
Process module pump cabinet
Reactor:
Reaction tube
Method: Single tube
Material: High-purity quartz
Heater element:
Heater wire material: Cantor wire, Ø 8 mm
Normal operating temperature: 500°C to 700°C
Maximum temperature: 800°C
Equal heat length: 300 mm
Temperature control: 500°C to 700°C ± 0.50°C
Control circuit: Cascade
Thermocouple:
(4) Zones
Inside: K-Type
Outside: K-Type with ceramic protective tube
Cooling method: Water-cooling, 2 l/min
Wafer boat:
Wafer size: Ø 200 mm
Wafer quantity: 52 Wafer charges
Material: High-purity quartz.
ASM A 600 UHV est un four de diffusion utilisé pour la préparation d'échantillons à ultra-haut vide (UHV). Cet équipement se compose d'une chambre à vide, d'un système de pompage sous vide, d'une chambre de four, d'un dispositif de chauffage à hauteur réglable et de toutes les commandes nécessaires, de l'alimentation électrique et des accessoires. La chambre à vide est conçue pour fournir une pression de base de 5x10-6 Torr, des pressions de base plus faibles sont réalisables par cuisson hors de la chambre. La chambre est de forme cylindrique avec deux fentes pour accéder au chauffage et à l'échantillon. Les deux étages intérieurs accueillent les étages de pompage, et les étages extérieurs sont le chauffage et l'échantillon. Les étages intérieurs sont entraínés en rotation par une vanne d'évent rotative permettant un accès aisé à l'échantillon. La vanne est ouverte et fermée par un levier manuel monté sur la chambre qui peut être tourné de 90 degrés dans les deux sens. Une vanne à aiguille à vide est utilisée pour le contrôle fin et la précision de la vanne. L'unité de pompage à vide comprend un piège à froid, une pompe rotative, une pompe de diffusion et une combinaison de pompes mécaniques, pétrolières, cryogéniques et turbo-moléculaires. Le piège froid est utilisé pour réduire la pression partielle du gaz de procédé évacué, qui est encore réduite par les pompes rotatives et de diffusion situées sur la chambre interne. Les pompes mécaniques fournissent une vitesse de pompage élevée et la pompe à huile, une pression ultime élevée pour un rapport de déplacement de volume de gaz donné. Les pompes cryogéniques et turbo sont reliées à la chambre pour un vide ultahigh profond. La chambre du four est en outre équipée d'un chauffage à hauteur réglable, utilisé pour chauffer l'échantillon jusqu'à 1000 ° C pour les processus de diffusion, et les mesures in situ. Le chauffage à hauteur réglable est mis en place et contrôlé par un contrôleur programmable, qui contrôle également les connexions externes et les capteurs. Le contrôleur comprend des multiplexeurs internes qui manipulent plusieurs appareils électriques simultanément. La machine de chauffage est robuste et efficace, fournissant à la fois haute et basse température gamme de manière évolutive. L'ensemble de l'outil est construit en acier inoxydable, la chambre principale ayant un diamètre intérieur de 600 mm et une hauteur de 1500 mm. La chambre comprend une fenêtre de visualisation et un évent de vide pour l'échantillon. L'ensemble de l'actif est fourni avec une base et un dispositif de serrage, permettant une manipulation sûre et facile du four. Un four à diffusion 600 UHV est une solution polyvalente pour la préparation d'échantillons sous vide et la réalisation d'une gamme de procédés de diffusion. Son chauffage à hauteur réglable permet un contrôle précis du chauffage des échantillons, permettant aux expérimentateurs d'obtenir les résultats souhaités, tandis que sa construction de haute qualité et sa conception robuste garantissent une fiabilité à long terme.
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