Occasion ASM A 600 #112365 à vendre en France
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ID: 112365
Taille de la plaquette: 8 "
LPCVD Furnaces
UHV Vertical furnaces
Cluster tool controller
Touch screen monitor
Keyboard with trackball
User interface
Hardware system:
Cluster platform module
Cluster platform pump module
CTC Computer cabinet
Process module
Process module pump cabinet
Reactor:
Reaction tube
Method: Single tube
Material: High-purity quartz
Heater element:
Heater wire material: Cantor wire, Φ 8 mm
Normal operating temperature: 500°C to 700°C
Maximum temperature: 800°C
Equal heat length, 12"
Temperature control: 500°C to 700°C ± 0.50°C
Control circuit: Cascade
Thermocouple:
(4) Zones
Inside: K-Type
Outside: K-Type with ceramic protective tube
Cooling method: Water-cooling 2 l/min
Wafer boat:
Wafer size, Φ 8"
Wafer quantity: 52 Wafer charges
Material: High-purity quartz
Operating system: Windows NT.
ASM A 600 est un four de diffusion et des accessoires spécialement conçus pour le dépôt de couches minces sur des substrats. C'est un four à haute température qui est capable de déposer des films d'épaisseurs et de formes variables. Le four a une capacité de 600 kW, avec une température maximale de fonctionnement de 1500 ° C Il offre une excellente résistance aux chocs thermiques et à l'environnement à haute température. La température peut être régulée avec une plage de 0-1500 ° C Un 600 est construit avec une base en acier robuste et isolée thermiquement, une combinaison de construction de chambres murales hautes et doubles, un système de transmission de chaleur économe en énergie et un puissant contrôleur électronique à solide. Le système de contrôle intégré offre des fonctionnalités conviviales telles qu'un simple clavier de démarrage et d'arrêt à deux boutons, des paramètres préprogrammés pour des opérations faciles et transparentes, des limites de sécurité à la température excessive et des capacités de rampe/immersion en température. L'ASM A 600 propose également une large gamme d'accessoires, tels que plusieurs supports de substrat, un lecteur de substrat unique ou multiple, des alimentateurs automatiques et des techniques de refroidissement. La large gamme de supports et de substrats permet de traiter une variété de substrats dans des conditions de température différentes. De plus, les auto-alimentateurs intégrés permettent le chargement et le déchargement sûrs et efficaces des substrats. Le four est également équipé de techniques de refroidissement, telles que le gaz et le refroidissement liquide, pour assurer une transition rapide de hautes températures de traitement à une température plus basse propice à la manipulation des substrats. Un four 600 comprend également des systèmes d'arrêt rapide spécialisés qui, en cas d'urgence, arrêtent immédiatement toutes les opérations et amènent le four à une température sûre. Le four offre également une maintenance et un entretien faciles, avec un ensemble intégré de fonctions qui sont conçues pour assurer le plus haut niveau de précision, de stabilité et de fiabilité pour un dépôt régulier de couches minces. Dans l'ensemble, l'ASM A 600 est un four de diffusion très puissant et fiable avec une large gamme d'accessoires qui permet un dépôt efficace et précis des couches minces. C'est la solution parfaite pour les applications nécessitant des films minces reproductibles et de haute qualité.
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