Occasion ASM A412 Doped Poly #9244651 à vendre en France

ASM A412 Doped Poly est un four de diffusion à haute température spécialement conçu pour la production de silicium polycristallin dopé. Il offre la plus haute température du procédé jusqu'à 1475 ° C et une uniformité de température ± 3 ° C, assurant un piégeage optimal et un contrôle de la température pendant le processus. La technologie avancée de contrôle PID (proportionnel-intégral-dérivé) assure une surveillance et un contrôle précis des températures d'interface. La gestion thermique puissante assure un chauffage rapide et uniforme des plaquettes jusqu'à 4,5 po de diamètre, offrant une diffusion dopante homogène et une meilleure qualité de recuit. La capacité de contrôler avec précision l'écoulement des gaz dans tout l'équipement garantit une répartition optimale des gaz dans la chambre, ce qui permet un processus sûr et efficace. A412 Doped Poly est équipé d'une gamme d'accessoires, y compris un tube à quartz coaxial refroidi à l'eau, un chargeur de bateau à quartz, un chargeur de wafer de procédé, une chambre de recuit en acier inoxydable et un système de détection de gaz. L'unité de détection de gaz est un composant intégré qui surveille le niveau de gaz dans la chambre de recuit, assurant la sécurité de tout sous-produit dangereux, tandis que le chargeur Wafer transfère les plaquettes de façon sécuritaire entre la chambre de recuit en acier inoxydable et l'environnement contrôlé. De plus, le tube en quartz refroidi à l'eau est conçu pour une isolation et un refroidissement optimaux du point d'entrée des gaz afin de compenser toute conductivité thermique, améliorant le transfert thermique et donc le temps de traitement global. En conclusion, ASM A412 Doped Poly est un four de diffusion avancé conçu pour la production de silicium polycristallin dopé et offre un chauffage uniforme jusqu'à 1475 ° C Il est rempli de caractéristiques et d'accessoires, tels que la machine de détection de gaz, chargeur de plaquettes, chargeur de bateau à quartz, et tube à quartz refroidi par eau, pour assurer un débit efficace et correct de gaz pour un processus sûr, uniforme et rapide. Avec A412 Doped Poly, les utilisateurs peuvent atteindre une haute qualité de recuit avec une diffusion dopante homogène.