Occasion ASM A600 UHV-CP #9249525 à vendre en France
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ID: 9249525
Wafer handler
(2) Wafer handling robots: Front and back
BROOKS AUTOMATION 001-7500-05 With pendant
Controls:
Digital dynamics controls
Motion engineering controls.
Le four de diffusion ASM A600 UHV-CP est conçu pour une production à haut rendement de matériaux semi-conducteurs composés de grande surface. Il est conçu pour traiter les substrats de manière sûre et fiable jusqu'à 6 pouces de diamètre. Le four de diffusion dispose d'une chambre de traitement de 600 mm de long, équipée d'un équipement de contrôle de pression avancé. L'environnement de fonctionnement Ultra High Vacuum (UHV) de la chambre assure des niveaux de contamination propres et faibles, tout en assurant une nitridation rapide, la diffusion et le codage dopant des matériaux. Le système Dynamic Pressure Control permet un contrôle précis de la température et une vitesse de refroidissement rapide. Cela permet des temps précis de diffusion des substrats de plaquettes, réduisant et maintenant les temps de processus totaux sans sacrifier la qualité. Le four comprend également une alimentation de chauffage qui est capable de produire jusqu'à 25kW, et une conception sans cendres de compression muffle. L'unité de combustion offre un environnement très propre pour le traitement des matériaux, tout en éliminant la fumée et d'autres contaminants environnementaux. La conception du moufle permet une dissipation rapide de la chaleur, éliminant le besoin de zones de refroidissement. En outre, le four comprend une machine de contrôle de haute précision qui fournit des programmes complets de surveillance des processus et de sécurité. L'outil comprend une variété de modes d'interfaçage et de contrôle de surveillance et d'acquisition de données (SCADA) pour intégrer facilement le four dans n'importe quel environnement de fabrication existant. Les systèmes de sécurité intégrés offrent aux opérateurs une gamme complète de caractéristiques de sécurité, et l'actif de protection contre l'ionisation permet d'éliminer le risque d'arc électrique et/ou d'étincelle dans la chambre de processus. A600 UHV-CP Diffusion Four offre une efficacité remarquable grâce à sa conception modernisée et ses caractéristiques de sécurité, et peut être facilement intégré dans les lignes de production et les processus existants.
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