Occasion ASM A600 UHV-CVD #9239207 à vendre en France

ASM A600 UHV-CVD est un four de diffusion avec des accessoires qui permet la croissance de couches minces très uniformes de matériaux. Il est spécialement conçu pour être utilisé dans le dépôt chimique en phase vapeur sous ultra-vide (UHV-CVD). Cette chambre est souvent utilisée pour le dépôt de couches minces composées de métaux, d'oxydes, de nitrures et aussi d'autres matériaux. A600 UHV-CVD dispose d'un design entièrement métallique, collé qui assure une étanchéité sûre entre la chambre intérieure et l'environnement sous vide extérieur. Il est équipé d'éléments chauffants à haute température qui permettent la sublimation et le dépôt de matériaux issus de la phase vapeur. La chambre comprend 3 zones de chauffage, la température pouvant être ajustée de 40 ° C à 900 ° C En outre, la chambre comprend un équipement de régulation de température précis et également des ports qui permettent d'accéder à la surveillance et à l'analyse in situ. Le système offre un point de vue qui permet d'observer directement le processus de dépôt et une unité de refroidissement intégrée pour refroidir rapidement la chambre une fois le dépôt terminé. Il existe également plusieurs caractéristiques de sécurité telles que la surpression, la basse pression et les alarmes sur la température qui peuvent être réglées pour assurer une sécurité optimale pendant le processus de dépôt. La machine est conçue pour minimiser les niveaux de contamination. Il dispose d'un certain nombre de caractéristiques qui assurent un environnement propre tels que purq de gaz, casque statique, pièges à gaz Teflon®, outil de pompage interne, et getters à température contrôlée. La chambre comprend également un moniteur de particules pour détecter des particules de taille 0,1 et plus petite afin de maintenir la propreté. La chambre comprend deux porte-échantillons. Le support supérieur est pour les plaquettes et les glissières, tandis que le support inférieur est pour les copeaux, les pièces et les échantillons de plus petites dimensions. Il est en acier inoxydable de haute qualité et est conçu pour fournir une thermalisation rapide et une grande précision pour le placement des échantillons. L'actif peut être utilisé pour le dépôt de couches minces de divers matériaux et ainsi produire des échantillons avec une excellente uniformité. Il est équipé d'un logiciel avancé et d'une interface utilisateur intuitive qui permet aux utilisateurs de contrôler et manipuler facilement les paramètres pendant le dépôt. Le modèle est un outil important pour les chercheurs dans des domaines tels que la microélectronique, l'optique et la science des matériaux.