Occasion ASM Advance 300 VT #9206100 à vendre en France
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ID: 9206100
Style Vintage: 1997
Vertical LPCVD furnace
Process: Oxide
CIM
Hardware configuration:
Main system:
Main body (Carrier stage)
Utility box
Handler system:
Wafer handing robot
Boat elevator
Cassette loader
Configuration:
Safety specification: ASM Standard
System layout type: U/Box type (I)
System hand: LL
N2 Load lock
Heater type: Temp wire
Torch heater
Process gasses:
Process gas 1 / N2 (30SLM)
Process gas 2 / O2 (20SLM)
Process gas 3 / HCL
Process gas 4 / N2O
Process gas 5 / H2O
Gas distribution system:
Basic style: Conventional gas system
Tubing material: Stainless steel
Tubing finish: Electro-polished
Manual & air-operated valve: Nupro
MFC Unit
Wafer / Cassette handling:
SEMI STD-Notch, 8"
Cassette type: Entergris / 704-503T2
Cassette number of wafers: 25
Cassette storage: 16
Fork type / Material
Fork variable pitch
Boat / Pedestal: 2 Boat
(150) Production wafers
Boat rotation not installed
System control:
System controller: IBM 486 OS2
Torch controller: H2O Separate element Pre burner
Signal tower colors: G / A / B
General pressure display unit: Pressure PSI
Cabinet exhaust display unit: H20
ASM Furnace temp controller
Host communication
Host communication: User host computer
User host computer I/F: SECS I / II (RS232)
Information transfer protocol: GEM
Equipment host I/F connection: U/BOX Top
Group controller: HIA
Facility electrical equipment power input (2 Lines):
Voltage: 208 VAC, 3 Phase
Voltage: 120 VAC, 1 Phase
UPS Input / Output voltage: 120V / 100V
1997 vintage.
L'ASM Advance 300 VT est un four de diffusion et un accessoire conçu pour les procédés modernes de fabrication des plaquettes. Il offre un contrôle de recuit à haute température et une homogénéité précise pour des processus de diffusion complexes. Advance 300 VT dispose d'une technologie verticale unique pour une uniformité accrue, et d'un contrôle innovant à deux zones pour un contrôle de processus et une précision de température supérieurs. Système de contrôle de refroidissement avancé utilisant une combinaison de murs froids et la conception de plaques de distribution assurent un débit maximum et l'efficacité de l'unité. La machine est équipée de trois manches thermocouple et jusqu'à 24 points thermocouple pour une détection de température supérieure sur l'ensemble de la plaquette. La conception verticale de l'ASM Advance 300 VT élimine les variations de température sur la plaquette, garantissant une grande précision et reproductibilité pour les processus critiques. Cet outil de haute précision offre également des capacités de processus inégalées, permettant un contrôle précis de la température et des tolérances serrées. Advance 300 VT est capable de supporter des exigences de processus de fabrication de plaquettes classiques jusqu'à des températures très élevées pour des procédés avancés tels que la fabrication de nanomatériaux. En outre, l'atout a la flexibilité pour accueillir une variété de configurations de bateaux à quartz, en particulier ceux avec des caractéristiques de conception complexes telles que les canaux et d'autres caractéristiques complexes. Cela permet une flexibilité maximale du procédé et contribue à optimiser les opérations de production. L'ASM Advance 300 VT est capable de maintenir une homogénéité de température exceptionnelle sur toutes les positions des plaquettes, grâce à ses systèmes avancés de distribution de chaleur et de contrôle thermique. En outre, il présente des avantages techniques considérables en termes de conception technique et de flexibilité des produits, notamment une faible consommation d'énergie, un design peu profilé et un accès facile à tous les composants. Il offre également une large gamme d'options, y compris un commutateur à faible cycle thermique pour l'optimisation des processus, ainsi qu'un modèle de charnière gravité pour une plus grande flexibilité. Dans l'ensemble, Advance 300 VT est un four de diffusion très fiable et précis et un équipement accessoire pour les processus modernes de fabrication de plaquettes. Il dispose d'un système de régulation de température avancé, d'une homogénéité supérieure et de capacités de conception flexibles pour des opérations de production optimisées.
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