Occasion ASM Advance 300 VT #9206104 à vendre en France
URL copiée avec succès !
Appuyez sur pour zoomer
ID: 9206104
Vertical LPCVD furnace
Process: Oxide
CIM
Hardware configuration:
Main system:
Main body (Carrier stage)
Utility box
Handler system:
Wafer handing robot
Boat elevator
Cassette loader
Configuration:
Safety specification: ASM Standard
System layout type: U/Box type (I)
System hand: LL
N2 Load lock
Heater type: Temp wire
Torch heater
Process gasses:
Process gas 1 / N2 (30SLM)
Process gas 2 / O2 (20SLM)
Process gas 3 / HCL
Process gas 4 / N2O
Process gas 5 / H2O
Gas distribution system:
Basic style: Conventional gas system
Tubing material: Stainless steel
Tubing finish: Electro-polished
Manual & air-operated valve: Nupro
MFC Unit
Wafer / Cassette handling:
SEMI STD-Notch, 8"
Cassette type: Entergris / 704-503T2
Cassette number of wafers: 25
Cassette storage: 16
Fork type / Material
Fork variable pitch
Boat / Pedestal: 2 Boat
(150) Production wafers
Boat rotation not installed
System control:
System controller: IBM 486 OS2
Torch controller: H2O Separate element Pre burner
Signal tower colors: G / A / B
General pressure display unit: Pressure PSI
Cabinet exhaust display unit: H20
ASM Furnace temp controller:
Host communication
Host communication: User host computer
User host computer I/F: SECS I / II (RS232)
Information transfer protocol: GEM
Equipment host I/F connection: U/BOX Top
Group controller: HIA
Facility electrical equipment power input (2 Lines):
Voltage: 208 VAC, 3 Phase
Voltage: 120 VAC, 1 Phase
UPS Input / Output voltage: 120V / 100V
1997 vintage.
L'ASM Advance 300 VT est un four de diffusion de nouvelle génération conçu pour fournir une atmosphère fiable et de haute précision pour les traitements métalliques. Il est équipé d'une large gamme d'accessoires, lui permettant de réaliser une gamme de procédés incluant le durcissement, le trempage, le recuit, le revêtement et la carburation. Le four est construit en acier inoxydable lourd et a un design robuste pour la longévité et la fiabilité. Il est équipé d'une chambre de diffusion séparée pour assurer le plus haut degré de précision. Des contrôles tactiles faciles à utiliser sont également inclus, permettant un contrôle précis de la température et de l'atmosphère. Avec un volume actif de 100 litres, Advance 300 VT peut chauffer jusqu'à 1 350 ° C (2 460 ° F) et peut être ajusté à n'importe quelle température entre 25 ° C (77 ° F) et 1 350 ° C (2 460 ° F). Il dispose également d'un puissant élément chauffant et système de refroidissement à l'eau, assurant des cycles thermiques rapides et contrôlés. En termes d'accessoires, l'ASM Advance 300 VT est équipée de nombreuses fonctionnalités qui peuvent être adaptées à vos besoins. Il est livré avec une gamme de configurations de creuset pour les traitements de creuset, y compris les versions carrées et rondes. Sont également incluses des sondes d'oxygène commutables, qui détectent la concentration d'oxygène dans le gaz au cours d'une course et peuvent être ajustées en conséquence. D'autres accessoires en option comprennent une unité de filtration en acier inoxydable, des capteurs de température, un débitmètre de réfrigérant, des plateaux multicolores pour le durcissement, le revenu et le recuit, des pyromètres spéciaux pour le creuset et un système de vide pour le traitement des matériaux non oxydants. Advance 300 VT est un puissant four de diffusion apprécié pour sa précision et ses performances. Avec son large éventail d'accessoires, il est un excellent outil pour le traitement des métaux. Il est parfait pour une gamme d'applications professionnelles et industrielles, et fournit des résultats fiables et des performances à long terme.
Il n'y a pas encore de critiques