Occasion ASM Furnace #195512 à vendre en France

Un four ASM est un four de diffusion conçu pour répondre aux besoins évolutifs des procédés de fabrication de dispositifs en silicium. Son homogénéité à basse température et son contrôle de température de haute précision assurent des processus de chauffage cohérents et un fonctionnement fiable dans un large éventail d'applications. Ceci le rend idéal pour la fabrication de dispositifs microélectroniques tels que les dispositifs MEMS, les circuits intégrés et les transistors à couches minces. Le four ASM est doté d'une atmosphère de purge à l'air ou à l'hydrogène. Cela permet au four de fonctionner entre 500 ° C et 1200 ° C dans une atmosphère sans oxygène ni dioxyde de soufre. Cela permet une répartition uniforme à basse température de la chaleur dans tout le four ASM et donc un contrôle de température très précis. Four est également équipé de dispositifs de sécurité avancés, tels que des capteurs de processus, isolation thermique, et un bouclier thermique pour protéger les composants à l'intérieur de l'environnement à haute température. Le loadlock ASM permet un chauffage uniforme du substrat tout en minimisant la contamination. Le loadlock prévient également les dégazages lors des opérations ASM Four en éliminant les gaz et les particules de l'atmosphère avant l'entrée du substrat dans Four. Cela signifie que le substrat est préparé pour le procédé de dépôt avant d'entrer dans l'enceinte. ASM diffusion ASM Four comprend également des moteurs pas à pas haute performance pour le contrôle de la température. La conception horizontale intégrée au moteur pas à pas permet un contrôle précis du processus de dépôt. Cela permet également un chauffage précis du substrat à des températures allant jusqu'à 1200 ° C sans ruissellement thermique. Pour une plus grande précision des données, Four dispose d'un équipement d'imagerie thermique sensible. Ce système enregistre les relevés de température et permet à ASM Furnace d'activer les systèmes de régulation de température au besoin. Le logiciel avancé fournit également à l'utilisateur une analyse détaillée de la stabilité thermique du substrat au cours du processus de diffusion. Four est également conçu avec un élément chauffant qui consiste en un disilicide molybdène (MoSi2) ensemble chauffant-bouclier. L'écran de chauffage protège les composants contre les températures plus élevées et empêche également les fuites thermiques. En outre, ASM Four est également équipé de ventilateurs de refroidissement et d'un filtre pour garder l'unité au frais et sans accumulation de poussière. Le four de diffusion ASM est équipé d'une large gamme d'accessoires pour un fonctionnement optimal. Ces accessoires comprennent une unité de contrôle des gaz, des obturateurs de serrure, des systèmes d'alimentation en gaz inerte, une machine de support d'échantillons et un outil d'échappement. L'unité de contrôle des gaz permet aux utilisateurs de contrôler le type de gaz utilisé dans le processus de diffusion et les concentrations de gaz dans l'atmosphère. L'actif de support d'échantillon permet de placer exactement le substrat à l'intérieur de la chambre pour des résultats optimaux.