Occasion ASM MIR 3000 #9235122 à vendre en France

Le four de diffusion ASM MIR 3000 et ses accessoires associés offrent une méthode fiable et efficace de formation et d'intégration de couches microscopiques de matériaux à la surface des plaquettes semi-conductrices. Les systèmes MIR 3000 utilisent des processus de diffusion pour créer diverses structures et composants sur des plaquettes, tels que des couches d'oxyde de grille, des vias d'interconnexion et des couches épitaxiales. Ces pièces constituent les éléments constitutifs d'un dispositif ou d'un équipement semi-conducteur entier. En plus de la diffusion, le système ASM MIR 3000 offre des capacités d'implantation ionique, permettant la création de régions et de couches dopantes afin de contrôler la conductivité de l'unité semi-conductrice. La machine MIR 3000 dispose d'un four central conçu pour des performances de diffusion optimales et une répétabilité de processus utilisant des transitoires thermiques rapides et un contrôle serré de l'environnement de la chambre. Le four a une conception spécialisée de chambre à six zones qui offre un contrôle précis de la température de chacune des zones de procédé, tout en fournissant un environnement de gravure induite faible qui permet la fabrication de fines caractéristiques de dispositifs. La configuration à double chambre du four offre une option supplémentaire pour les procédés de recuit par lots. L'outil ASM MIR 3000 est également capable de fabriquer des couches épitaxiales de haute qualité et d'autres couches d'oxyde, ainsi que des diélectriques à couches minces et des couches d'empilement de métal de contact. Ces couches sont typiquement utilisées comme couches isolantes, oxydes de grille et transistors. L'actif dispose d'un modèle de verrouillage de charge pour assurer des points de départ et de fin répétables pour chaque processus, ainsi que d'une vanne de chauffage et de refroidissement rapide pour la purge rapide et l'isolement de la chambre entre les cycles. l'équipement MIR 3000 est équipé pour des performances optimales ; le four est complété par l'ajout d'un système de commande électronique, d'une unité de refroidissement dédiée et d'un sous-système de surveillance. La machine électronique de commande permet un contrôle de précision sur tout le cycle de processus. L'outil de refroidissement dédié est utilisé pour stabiliser la température de surface, évitant un transfert thermique inutile entre la plaquette et le substrat à l'intérieur de la chambre. L'outil de surveillance fournit des retours en direct pour le mouvement de température et permet d'ajuster en ligne les paramètres du processus. Le modèle ASM MIR 3000 est un moyen extrêmement fiable et efficace de former, d'intégrer et de fabriquer des couches de matériau à la surface des plaquettes semi-conductrices, permettant la création d'éléments spécialisés pour une variété d'appareils électroniques. Avec sa capacité à traiter les couches et les composants rapidement et avec précision, cet équipement est un excellent choix pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs.